[发明专利]防腐蚀剂组合物及其在抗蚀膜剥离过程中的应用

权利要求书

1.一种用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物，其特征在于：包括氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑和ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃。

2.如权利要求1所述的用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物，其特征在于：所述ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃如式1所示，其中，n=8。

3.如权利要求1或2所述的用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物，其特征在于：所述氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑和ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃的质量比为1：1～1：2。

4.如权利要求1至3所述的用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物，其特征在于：所述氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑的制备方法具体为：

第一步，1-十六烷基咪唑的制备，将1.79的咪唑和3.8mL的溴代十六烷在35mL的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀。将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加热至120℃恒温反应16h后自然冷却至室温。然后将混合物过滤取出滤液，用蒸馏水洗涤数次以除去没有参加反应的咪唑，用旋转蒸发仪将溶剂乙酸乙酯蒸出，所得产物1-十六烷基咪唑在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重。得到淡黄色液体，称量产物；

第二步，将2.9g的1-十六烷基咪唑和1ml的2-氯乙醇在35ml的乙酸乙酯中混合，磁力搅拌10分钟混合均匀，其中，反应物2-氯乙醇过量，使1-十六烷基咪唑充分反应，将混合物倒入容量为60mL的聚四氟乙烯内衬中，将聚四氟乙烯内衬密封入不锈钢反应釜内，并放入数字式烘箱内，从室温加热至120℃，恒温反应6h，自然冷却至室温。用旋转蒸发仪将溶剂和过量的反应物2-氯乙醇蒸出，所得产物在70℃真空干燥箱中干燥12小时至恒重，得到的氯化1-羟乙基-3-十六烷基咪唑为白色固体。

5.如权利要求1至4所述的用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物，其特征在于：所述ω，ω′-双(苯并咪唑-2-基)烷烃的制备方法具体为：

分别称取0.11mol邻苯二胺和0.05mol脂肪二酸，于研钵中充分研磨使其混合均匀，转移至三颈烧瓶中。加入混酸，通氮，机械搅拌下加热回流反应。TLC跟踪监测至反应结束，约10h，倒入250mL烧杯中，静置冷却，用浓氨水调节pH=7。于4℃下静置过夜，抽滤干燥，所得粗品用甲醇／水重结晶，得纯品。

6.如权利要求1至5所述的用于抗蚀膜剥离的防腐蚀剂组合物的制备方法，其特征在于：将所述两种组分混合即得。

7.权利要求1至5所述防腐蚀剂组合物在抗蚀膜剥离过程中的应用。