[发明专利]手指间距可调的搬运机械手及其晶圆搬运装置

权利要求书

1.一种手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述机械手包括：

至少2个手指单元（10），每一手指单元（10）设有一机械手指（11）；

一连杆（20），所述连杆（20）上固定设置有与手指单元（10）一一对应的轴承；

其中一个轴承与一个手指单元（10）固定连接，其余的手指单元（10）的后端一侧开设有沿机械手指方向的槽（40），其余轴承嵌入槽（40）内并可在槽（40）内沿机械手指（11）方向移动，连杆（20）、轴承和槽（40）组成曲柄滑块机构；

所述手指单元（10）的后端另一侧设有导轨（60），导轨（60）沿竖直方向设置且与机械手指（11）方向垂直，手指单元（10）的后端另一侧固定有滑块（50），手指单元（10）通过滑块（50）沿导轨（60）运动；

其中一个手指单元（10）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕所述与一个手指单元（10）固定连接的轴承转动，通过所述曲柄滑块机构带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。

2.如权利要求1所述的手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述轴承为外螺纹轴承（30）。

3.如权利要求1所述的手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述机械手还包括一外壳，所述与轴承固定连接的手指单元（10）固定于外壳上。

4.如权利要求3所述的手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述导轨（60）设置于外壳上。

5.如权利要求1所述的手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述每一手指单元（10）还设有托块（12）和盖板（13），所述机械手指（11）固定于托块（12）和盖板（13）之间；所述槽（40）开设于托块（12）上。

6.如权利要求1-5任一项所述的手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述手指单元（10）设有5个，在竖直方向上从上往下分别为：第一手指单元（101）、第二手指单元（102）、第三手指单元（103）、第四手指单元（104）和第五手指单元（105）；

其中，第三手指单元（103）固定于外壳上，其中一个轴承与第三手指单元（103）固定连接；

第五手指单元（105）沿竖直方向运动，带动连杆（20）绕与第三手指单元（103）固定连接的轴承转动，通过曲柄滑块机构带动其他手指单元（10）沿导轨（60）做上下运动。

7.如权利要求6所述的手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，其中一个轴承固定于第三手指单元（103）的托块（12）上。

8.如权利要求1-5任一项所述的手指间距可调的搬运机械手，其特征在于，所述机械手用于晶圆搬运。

9.一种晶圆搬运装置，其特征在于，在所述晶圆搬运装置中设有权利要求1-8任一项所述的手指间距可调的搬运机械手。