[发明专利]一种光致异构反射镜系统

权利要求书

1.一种光致异构反射镜系统，其特征在于：包括基板（1）、激光器（2）、扩束装置（3）、偏振及能量控制装置（4）、扫描装置（5）、反射镜组件支撑结构（6）、薄膜反射镜组件（7）、波前探测器、控制分系统；激光器（2）、扩束装置（3）、偏振及能量控制装置（4）、扫描装置（5）从左向右依次固定安装在基板（1）上；反射镜组件支撑结构（6）的一端通过铰链与薄膜反射镜组件（7）固定连接，另一端通过螺栓与基板（1）固定连接；通过反射镜组件支撑结构（6）将薄膜反射镜组件（7）支撑在扫描装置（5）的上方；

波前探测器探测到外部光学系统发出的波前信号，并反馈给控制分系统；控制分系统根据波前信号生成控制信息并分别输入至扩束装置（3）、偏振及能量控制装置（4）、扫描装置（5）；偏振光由激光器（2）出射后，送至扩束装置（3）；扩束装置（3）根据控制分系统输入的控制信号改变偏振光的光束口径后，送至偏振及能量控制装置（4）；偏振及能量控制装置（4）根据控制分系统输入的控制信号调整偏振光的偏振方向以及功率大小，并将调整后的偏振光出射至扫描装置（5）；扫描装置（5）根据控制分系统输入的控制信号调整偏振光的反射方向，并将反射后的偏振光入射至薄膜反射镜组件（7）上的需要调整面形的区域；偏振光在控制分系统的调控下不断地调整薄膜反射镜组件（7）的面形，直至薄膜反射镜组件（7）的面形精度满足阈值。

2.根据权利要求1所述的一种光致异构反射镜系统，其特征在于：所述薄膜反射镜组件（7）包括复合薄膜反射镜（71）、上压环（72）、下压环（73）和压紧结构（74）；通过上压环（72）、下压环（73）和多个压紧结构（74）配合将复合薄膜反射镜（71）压紧；所述复合薄膜反射镜（71）为由偶氮苯及聚酰亚胺复合而成的薄膜，合成时先对聚酰亚胺薄膜进行打磨处理，然后在打磨后的聚酰亚胺薄膜表面加入粉末状偶氮苯材料。

3.根据权利要求1所述的一种光致异构反射镜系统，其特征在于：所述扫描装置（5）包括扫描反射镜组件（51）、水平方向转动轴（52）、竖直方向转动轴（53）、扫描镜连接结构（54）、驱动机构（55）以及扫描装置底座（56），扫描反射镜组件（51）通过小型轴承与水平方向转动轴（52）固连，水平方向转动轴（52）固定安装在扫描镜连接结构（54）上；同时扫描镜连接结构（54）还与竖直方向转动轴（53）通过轴承连接；驱动机构（55）固定安装于扫描装置底座（56）上，控制水平方向转动轴（52）与竖直方向转动轴（53）的运动；所述反射镜组件（51）由反射镜和支撑结构组成。

4.根据权利要求1所述的一种光致异构反射镜系统，其特征在于：所述反射镜组件支撑结构（6）由多个杆式支撑结构组成。