[发明专利]一种光电陶瓷驱动的微镜微调节装置

权利要求书

1.一种光电陶瓷驱动的微镜微调节装置，其特征在于，包括X方向位移微调节平台[1]、俯仰调节机构[2]、Y方向位移微调节平台[3]、粗动台[4]、X方向光电陶瓷致动器[5]、X方向位移放大机构[6]、Y方向位移放大机构[7]、Y方向光电陶瓷致动器[8]、和滚动导轨；

其中Y方向位移微调节平台[3]、Y方向位移放大机构[7]和Y方向光电陶瓷致动器[8]均设置在粗动台[4]上，Y方向位移微调节平台[3]与粗动台[4]之间设置滚动导轨，Y方向位移微调节平台[3]和Y方向位移放大机构[7]通过柔性铰链相连，Y方向位移放大机构[7]通过柔性铰链推动Y方向位移微调节平台[3]在滚动导轨上移动，Y方向位移放大机构[7]与Y方向光电陶瓷致动器[8]相连，Y方向位移放大机构[7]对Y方向光电陶瓷致动器[8]的驱动位移进行放大；

Y方向位移微调节平台[3]上方设置X方向位移微调节平台[1]、X方向光电陶瓷致动器[5]和X方向位移放大机构[6]，Y方向位移微调节平台[3]和X方向位移微调节平台[1]之间设置滚动导轨，X方向位移放大机构[6]与X方向位移微调节平台[1]通过柔性铰链相连，X方向位移放大机构[6]通过柔性铰链推动X方向位移微调节平台[1]在滚动导轨上移动，X方向位移放大机构[6]与X方向光电陶瓷致动器[5]相连，X方向位移放大机构[6]对X方向光电陶瓷致动器[5]的驱动位移进行放大；X方向位移微调节平台[1]上设置俯仰调节机构[2]。

2.根据权利要求1所述的光电陶瓷驱动的微镜微调节装置，其特征在于，所述俯仰调节机构[2]包括三角形放大机构[10]、反射镜[11]、光电陶瓷俯仰致动器[12]和俯仰致动器挡板[13]；反射镜支架固定在X方向位移微调节平台[1]上，反射镜支架上设置旋转轴，反射镜[11]可在旋转轴上转动，所述旋转轴与X方向位移微调节平台[1]平行，三角形放大机构[10]一端通过柔性铰链与X方向位移微调节平台[1]相连，三角形放大机构[10]的另一端通过柔性铰链与反射镜[11]相连，光电陶瓷俯仰致动器[12]一端与三角形放大机构[10]连接，光电陶瓷俯仰致动器[12]的另一端与俯仰致动器挡板[13]相固连，所述俯仰致动器挡板[13]固定在X方向位移微调节平台[1]上。

3.根据权利要求1或2所述的光电陶瓷驱动的微镜微调节装置，其特征在于，还包括Y方向致动器挡板[14]和X方向致动器挡板[15]，其中Y方向致动器挡板[14]固定在粗动台[4]上并与Y方向光电陶瓷致动器[8]固连，X方向致动器挡板[15]固定在Y方向位移微调节平台[3]上并与X方向光电陶瓷致动器[5]固连。

4.根据权利要求1或2所述的光电陶瓷驱动的微镜微调节装置，其特征在于，X方向光电陶瓷致动器[5]、Y方向光电陶瓷致动器[8]和光电陶瓷俯仰致动器[12]的材料均为镧改性锆钛酸铅。