[发明专利]光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及制造作为光纤用合成石英玻璃的前驱体的多孔质玻璃沉积体的方法，尤其涉及在一边旋转一边沿垂直方向移动的初始材外周上沉积玻璃微粒子，以制造多孔质玻璃沉积体（以下记为沉积体）的方法。

背景技术

有一种制造沉积体的方法，使在燃烧器的火焰中生成的玻璃微粒子附着在一边旋转一边沿竖直方向上升的初始材上。这种方法为：向氢氧焰中供应如四氯化硅那样的硅氯化物等，将通过火焰加水分解反应及高温热氧化反应生成的玻璃微粒子附着并沉积到初始材上。所制造的沉积体通过在真空或惰性气体氛围气中进行加热烧结并透明化，成为光纤用合成石英玻璃。

另外，由于光纤的中心部（纤芯)的折射率稍高于外周部（包层)，从而能够进行光传输。在提高折射率时，通常采用添加氧化锗的方法。该氧化锗是在沉积体的制造阶段被添加的。因此，在制造作为光纤用合成石英玻璃的前驱体的沉积体时，要将沉积纤芯部用的燃烧器与沉积包层部用的燃烧器分开使用，使锗氯化物伴随着硅化合物共同供应给沉积纤芯部用的燃烧器。

这样一来，当制造包含纤芯部的沉积体时要使用多个燃烧器。而且如果要提高玻璃微粒子的每单位时间的附着量，也要使用多个燃烧器。如果要提高沉积体的制造生产率，就要提高附着量以提高沉积效率（沉积的玻璃微粒子量相对于供应的原料量的比例)。当使用多个燃烧器时，就必须要考虑相邻燃烧器之间的火焰干涉。如果火焰干涉过强，则火焰与沉积体的接触面积会变窄，从而降低沉积效率；如果干涉过弱，则沉积体的烧结会变弱，从而产生低密度部，并会由于密度差而引起破裂及外径波动。

发明内容

发明要解决的问题:

当为了提高生产率而使相邻燃烧器间的设置间隔变密时，也就是说将相邻燃烧器配置得非常接近时，由于火焰的扩散而使火焰之间互相进行很强的干涉，在这种干涉的交界部位，互相妨碍玻璃微粒子的沉积，使玻璃微粒子的沉积速度下降并同时产生沉积斑。由于这种斑会使火焰的流动变得不稳定，因此会产生更大的沉积斑。从而会造成使沉积体易于产生外径波动，使成品率恶化等问题。

如果在沉积体上产生了外径波动，即使在进行烧结和透明玻璃化之后也会残存外径波动。取决于外径波动的程度如何，有时即使经过利用玻璃旋盘（日文：ガラス旋盤）进行的拉伸工序后也难以消除，并且即使能够消除，加工成本也会增加。

本发明的目的是鉴于上述问题，提供一种不产生沉积斑，不使成品率恶化也能够制造光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法。

解决问题的方案:

上述问题能够通过下述方法解决。即，本发明的光纤用多孔质玻璃沉积体的制造方法，在能够以自身的中心轴线为旋转轴线进行旋转并沿竖直方向移动的初始材上喷涂由多个玻璃微粒子合成用燃烧器生成的玻璃微粒子，以制造多孔质玻璃沉积体，其特征为，在制造方法中，对各燃烧器进行配置，从而达成各燃烧器的每一个的中心轴线与初始材的旋转轴线位于一平面内的位置关系，并使各燃烧器的中心轴线与初始材的中心轴线所在的各个面中的至少两个面成预定角度。

另外，上述发明内容并未列举出本发明的全部可能特征，所述特征组的子组合也有可能构成发明。

附图说明

图1为以从下方观察沉积中的沉积体的视角说明燃烧器1、2被设置为相对于初始材的中心轴线的方位角仅相差θ的说明图。

图2为从正对由燃烧器1的中心轴线与初始材旋转轴线所形成的面的视角观察沉积中的沉积体的图。

图3为表示实施例1中的θ与沉积速度的关系的图形。

图4为表示实施例1中的θ与直径波动率的关系的图形。

图5为表示实施例2中的θ与沉积速度的关系的图形。

图6为表示实施例2中的θ与直径波动率的关系的图形。

具体实施方式

以下通过发明实施方式对本发明进行说明，但以下实施方式并非对权利要求书所涉及的发明进行限定。并且，实施方式中说明的特征组合也并非全部为本发明的必要特征。

在本实施形态中，对各燃烧器进行配置，从而达成各燃烧器的每一个的中心轴线与初始材的旋转轴线在位于一平面内的位置关系，并且各燃烧器的中心轴线与初始材的中心轴线所在的各个面中的至少两个面成预定角度，至少两个面所成的角度为3度以上30度以下，更佳为5度以上30度以下不等的角度，如果该角度不到3度，则火焰彼此之间的互相干涉很强，妨碍玻璃微粒子的沉积，从而产生沉积斑。另外，如果大于30度，火焰之间的干涉很弱，造成烧结不完全，出现低密度部，因此会造成长度方向的直径波动。