[发明专利]单晶炉水冷套温度控制系统有效
| 申请号： | 201310439358.X | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104451863A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王雅楠;李晨;姜舰;吴志强;戴小林;翟顺元;张金义;刘卓 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 满靖 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉 水冷 温度 控制系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉水冷套温度控制系统，其特征在于：它包括微处理器，设置在单晶炉的水冷套内壁上的温度传感器的信号传输端口依次经由采样信号放大电路、AD转换电路而与该微处理器的相应IO端口连接，设置在该水冷套的冷却水入口处的阀门的启闭控制端与步进电机的输出轴连接，该步进电机的信号控制端口与该微处理器的相应IO端口连接。
2.如权利要求1所述的单晶炉水冷套温度控制系统，其特征在于：
键盘输入电路的各信号输出端口分别与所述微处理器的相应IO端口连接。
3.如权利要求1所述的单晶炉水冷套温度控制系统，其特征在于：
显示屏的信号端口与所述微处理器的相应IO端口连接。
4.如权利要求1所述的单晶炉水冷套温度控制系统，其特征在于：
所述微处理器的通讯端口与上位机的通讯端口连接。
5.如权利要求1至4中任一项所述的单晶炉水冷套温度控制系统，其特征在于：
所述微处理器为AT89C51型单片机。
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