[发明专利]负型光刻胶剥离剂组合物

权利要求书

1.一种负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：包括多元醇混合物、氢氧化季氨盐、醇钠、吗啉、表面活性剂、水溶性有机溶剂、防腐蚀剂混合物、有机胺和去离子水。

2.如权利要求1所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述负型光刻胶剥离剂组合物中各组分的重量百分比为多元醇混合物10～20质量％、氢氧化季氨盐3～10质量％、醇钠15～25质量％、吗啉3～5质量％、表面活性剂2～6质量％、水溶性有机溶剂5～20质量％、防腐蚀剂混合物8～12质量％、有机胺10％～30％和佘量的去离子水。

3.如权利要求1或2所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述负型光刻胶剥离剂组合物中各组分的重量百分比为多元醇混合物15质量％、氢氧化季氨盐5质量％、醇钠20质量％、吗啉5质量％、表面活性剂4质量％、水溶性有机溶剂15质量％、防腐蚀剂混合物10质量％、有机胺20％和佘量的去离子水。

4.如权利要求1至3所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述多元醇混合物具体为山梨糖醇和木糖醇。

5.如权利要求1至4所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述氢氧化季铵盐为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、三甲基乙基氢氧化铵、二甲基二乙基氢氧化铵、三甲基(2-羟乙基)氢氧化铵(胆碱)、三乙基(2-羟乙基)氢氧化铵中的一种或几种混合。

6.如权利要求1至5所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述醇钠为甲醇钠、乙醇钠、正丙醇钠、异丙醇钠、叔丁醇钠中的一种或几种混合。

7.如权利要求1至6所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述的有机胺为一级脂肪胺、二级脂肪胺、三级脂肪胺。

8.如权利要求1至7所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述防腐蚀剂混合物是肉桂基咪唑啉和1，3-双(2-苯并咪唑基)-2-氧杂丙烷构成的混合物，所述肉桂基咪唑啉和1，3-双(2-苯并咪唑基)-2-氧杂丙烷混合质量比为1：1.2～1.5。

9.如权利要求1至8所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述肉桂基咪唑啉的制备方法具体为，

将10ml分析纯的二乙烯三胺置于四口烧瓶中，升温至150℃，滴入3ml分析纯甲苯，添加22g分析纯的肉桂酸，在氮气环境下进行搅拌，再升温至170℃开始酰化脱水，反应5h以后，升温至240℃开始环化脱水3h，反应完毕后将其置于真空干燥箱中干燥，得到棕褐色粘稠状的肉桂基咪唑啉，反应式如下：

10.如权利要求1至8所述的负型光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：所述1，3-双(2-苯并咪唑基)-2-氧杂丙烷的制备方法具体为，

取10.8g邻苯二胺与7g二甘醇酸，将两者混合溶于120ml浓度为6mol/L的盐酸溶液中，机械搅拌，在90℃下回流12h，待体系冷却后，用氨水调节pH值至溶液呈弱碱性，冷却，干燥，采用水-丙酮(体积比1：1)重结晶(50mL×3次)，得到白色粉末状目标产物，即为1，3-双(2-苯并咪唑基)-2-氧杂丙烷。