[发明专利]一种卧式多弧镀膜室有效
| 申请号： | 201310434787.8 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103469158A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 关秉羽 | 申请（专利权）人： | 辽宁北宇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 铁岭天工专利商标事务所 21105 | 代理人： | 靳万清 |
| 地址： | 112000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种卧式多弧镀膜室，具有镀膜室罐体（1），镀膜室罐体（1）具有外壁（2）、中间冷却套层（3）和内壁（4），镀膜室罐体（1）的上、下部壁上均布装有弧源安装孔（5、6），镀膜室罐体（1）底部具有安装支架（10），弧源安装孔（5、6）包括与所述镀膜室罐体（1）外壁（2）相连的安装外壁（7）、与所述镀膜室罐体（1）内壁（4）相连的安装内壁（9）及与所述镀膜室罐体（1）中间冷却套层（3）相连通的安装套层（8），其特征在于：所述安装内壁（9）伸出所述镀膜室罐体（1）内壁（4）且伸入到镀膜室罐体（1）内。
2. 按照权利要求1所述的卧式多弧镀膜室，其特征在于：仅是位于所述镀膜室罐体（1）下部壁上的弧源安装孔（6）的安装内壁（9）伸出所述镀膜室罐体（1）内壁（4）且伸入到镀膜室罐体（1）内。
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