[发明专利]一种镀膜机无效
| 申请号： | 201310433895.3 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104451589A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 赵立平 | 申请（专利权）人： | 赵立平 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266034 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，其特征在于，所述镀膜伞中心位置处设有传感器，所述传感器与精密膜厚控制仪相连。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于，所述传感器内部横向设有一水晶片。
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