[发明专利]具有对称差分电容的微机电元件

权利要求书

1.一种具有对称差分电容的微机电元件，其特征在于，包含：

一基板；

一上相对电极；

一下相对电极；

一质量结构，具有一上电极与一下电极，分别与该上相对电极和该下相对电极形成一上电容结构与一下电容结构；

一上相对电极延伸壁，其上端连接该上相对电极，下端与该基板连接；以及

一下相对电极延伸壁，其下端经由该下相对电极连接该基板；

其中该下相对电极延伸壁的上端不与该上相对电极连接，且该上相对电极延伸壁和该上相对电极面向于该质量结构的总导电部分表面积和、与该下相对电极延伸壁和该下相对电极面向于该质量结构的总导电部分表面积和，为彼此相当。

2.如权利要求1所述的具有对称差分电容的微机电元件，其中，该上相对电极延伸壁与该下相对电极延伸壁的面向于该质量结构的表面积为彼此相等。

3.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该上、下相对电极延伸壁分别位于相对该质量结构的对称位置。

4.如权利要求1所述的具有对称差分电容的微机电元件，其中，该质量结构设置于该上下相对电极延伸壁之间，或该上下相对电极延伸壁主要设置于该质量结构的内侧。

5.如权利要求1所述的具有对称差分电容的微机电元件，其中，该微机电元件具有多个上相对电极延伸壁和多个下相对电极延伸壁。

6.如权利要求4所述的具有对称差分电容的微机电元件，其中，该多个上相对电极延伸壁和多个下相对电极延伸壁分别位于该质量结构的至少相对两侧，且该两侧的任一侧既设有上相对电极延伸壁也设有下相对电极延伸壁。

7.如权利要求1所述的具有对称差分电容的微机电元件，其中，该上相对电极延伸壁上端具有至少一锚边，并以该锚边连接该上相对电极；该下相对电极延伸壁上端具有延伸至与该锚边等高的至少一凸边。

8.如权利要求7所述的具有对称差分电容的微机电元件，其中，由俯视图观之，该微机电元件设有多个锚边与凸边，彼此对应设置于该质量结构相对的两侧。

9.如权利要求7所述的具有对称差分电容的微机电元件，其中，由俯视图观之，该微机电元件设有多个锚边与凸边，设置于该质量结构相对的两侧，且位于两侧的锚边总面积彼此相当、或位于两侧的凸边总面积彼此相当、或锚边与凸边的总面积彼此相当。