[发明专利]基于多狭缝阵列的超分辨光谱仪

权利要求书

1.基于多狭缝阵列的超分辨光谱仪，其特征在于，由入射狭缝（1）、准直镜（2）、光栅（3）、聚焦镜（4）、光电探测器（5）和与所述光电探测器（5）相连的计算机（6）组成；所述入射狭缝（1）为N阶阵列狭缝，所述入射狭缝（1）对入射光线进行空间滤波，使入射光线宽度按照光学系统要求的宽度入射到准直镜（2）上，光线依次经过准直镜（2）准直、光栅（3）分光、聚焦镜（4）聚焦后成像在光电探测器（5）上，在垂直于光谱维方向上获得N幅具有亚像元位移的低分辨率光谱图，计算机（6）对光电探测器（5）采集的光谱图信息进行信息融合，利用递推算法求取亚像元值从而构建出一幅高分辨率的光谱图，其中，所述N为正整数且N≥2。

2.根据权利要求1所述的基于多狭缝阵列的超分辨光谱仪，其特征在于，所述入射狭缝（1）采用半导体硅材料或玻璃材料通过微机械工艺制作而成。

3.根据权利要求1所述的基于多狭缝阵列的超分辨光谱仪，其特征在于，所述光电探测器（5）采用面阵CCD、CMOS面阵成像探测器或InGaAs面阵成像探测器。

4.根据权利要求1所述的基于多狭缝阵列的超分辨光谱仪，其特征在于，所述光电探测器（5）上垂直于光谱维方向上的阵列数为N的整数倍，N为正整数且N≥2。