[发明专利]小型微纳米级三坐标测量机

说明书

技术领域

本发明属于监控量领域，尤其是涉及一种氢原子钟智能化监控系统。

背景技术

对于工业产品尺寸精度检测三维坐标测量机是一个不可或缺的工具。近年来由于微纳米技术的兴起，使得产品趋于微细化，当器件尺寸小到几厘米且公差要求在亚微米以下时，传统的三坐标测量机已不敷使用因此，近年来国内外已有相关研究单位研制体积小、精度高、具纳米级的三坐标测量机。但是现有的测量机制造成本较高。

发明内容

本发明就是针对上述问题，提供一种成本较低的一种小型微纳米级三坐标测量机。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案，本发明包括基座，其结构要点是：基座上设置有工作台部件，工作台部件上设置有纳米定位工作台；基座上还设置有桥架，桥架上设置有CCD组件和测头。

作为一种优选方案，基座采用花岗岩基座。

本发明有益效果。

本发明包括基座，其结构要点是：基座上设置有工作台部件，工作台部件上设置有纳米定位工作台；基座上还设置有桥架，桥架上设置有CCD组件和测头。基座采用花岗岩基座。本发明的结构少，且无需昂贵的测量设备如激光干涉仪等。

附图说明

为本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

图1是本发明的结构图。

图中1为基座、2为桥架、3为工作台部件、4为横梁、5为激光衍射干涉系统、6为纳米定位工作台、7为测头。

具体实施方式

如图所示，本发明包括基座1，基座1上设置有工作台部件3，工作台部件3上设置有纳米定位工作台6；基座1上还设置有桥架2，桥架2上设置有CCD组件和测头7。

作为一种优选方案，基座1采用花岗岩基座。

本发明主要包含花岗岩平台与桥架、定位平台、衍射干涉激光尺及与双测量探头等由于花岗岩材料的刚性大，热膨胀系数小，用来制作测量机的工作台面与固定式桥架，可提供一个良好的参考面长行程的精密定位则采用美国公司的双轴移动台，各轴使用以色列公司的压电陶瓷线性马达，加以驱动川，此长行程可达范围及的微步各轴机台边安装一维精密衍射干涉激光位置测量系统，作为的双轴位移感测平台上放置一驱动的微位移平台以补偿的定位误差横梁上可同时安装自行开发的自动聚焦测量探头与探头，藉由滑动机构的定位，使该系统能同时进行轴高度与二维形状尺寸测量。

机台主体分为工作平台、横梁与桥架三大部分，节点四面体元素分割的网格模型，共有巧个元素，个节点和个自由度实验采用冲锤法配合加速规的使用进行结构固有频率的测量与分析。

自动聚焦探头原理。

测头以市售光驱一内光学读数头的自动聚焦原理，为基础进行研究，其工作原理为二极体激光经由光栅产生衍射后，分为三道检测光束，再经分光镜、准直透镜后，激光变成一准直光束，此准直光束经过中央呈现有间隔十到数百微米同心圆状沟槽的透镜一镜片时，光束分离成两部分，聚焦成适合与光盘片资料储存位置的双焦点反射光束则循原路径后穿越柱状像散透镜，而投射至象限光传感器。上象限传感器会根据光点在个象限上的光分布，输出一离焦信号，这个离焦信号经过运算放大及补偿处理，可反馈推动音圈马达，将物镜推到盘片可以在聚焦平面上的位置达到锁焦的目的此时，读数头再根据反射光的强度变化来读取盘片上的数字信号，完成资料的存取。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明，对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明所提交的权利要求书确定的保护范围。