[发明专利]一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法有效
| 申请号: | 201310422222.8 | 申请日: | 2013-09-16 |
| 公开(公告)号: | CN103498140A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
| 发明(设计)人: | 金利华;冯建情;白利锋;王耀;于泽铭;李成山;张平祥 | 申请(专利权)人: | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号: | C23C24/08 | 分类号: | C23C24/08;C23C20/08 |
| 代理公司: | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人: | 谭文琰 |
| 地址: | 710016*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 纳米 掺杂 氧化 涂层 制备 方法 | ||
技术领域
本发明属于高温超导材料技术领域,具体涉及一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法。
背景技术
YBCO涂层导体是由金属基带/缓冲层/超导层/保护层组成的多层复合材料。由于超导层与金属基带之间存在很大的晶格失配(约8%)和严重的原子扩散,因此必须在两者之间沉积缓冲层,才能达到传递织构和阻隔扩散的作用,实现YBCO超导层的织构生长,同时获得高的载流能力。氧化铈(CeO2)由于具有热稳定性高、与YBCO的晶格失配小及良好的化学兼容性等优点,被认为是一种极其重要的缓冲层材料。
CeO2属于立方萤石结构,控制它的取向生长以及表面质量对于外延生长具有织构的YBCO超导层极为重要。化学溶液沉积制备的CeO2涂层具有工艺简单、低成本等优点,是目前研究的热点,人们通过在CeO2层中掺杂各种稀土元素,进一步改善CeO2层的织构取向和表面质量。索红莉课题组通过在氧化铈前驱液中引入La、Gd等稀土元素(CN101624286B、CN101597162B)以及Ta、Zr等过渡金属元素(CN102173801B、CN101219896B),可以制备出没有裂纹、表面平整致密、具有较高织构的氧化铈过渡层。但是这些方法一般都需要在较高的温度(1000℃~1200℃)下对氧化物涂层进行热处理,这种情况会造成NiW金属衬底晶粒长大,热蚀沟槽加深,必然导致晶界处出现不连续区域,氧化铈表面粗糙度增加。同时这些情况下的掺杂,氧化铈固化膜中没有纳米点存在,固化膜在分解和成相过程中不存在有效的应力释放中心,不利于厚膜的应力释放。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足,提供一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法。该方法通过在前驱液中引入纳米银粒子,分散的纳米银粒子可以在氧化铈涂层中形成有效应力释放中心,促进氧化铈涂层在成相减薄过程中应力均匀释放,避免氧化铈涂层在减薄、收缩过程中形成裂纹和孔洞,降低了氧化铈薄膜表面的粗糙度;通过纳米银的诱导形核生长,可以帮助氧化铈薄膜在较低温度成相,减少传统高温热处理对金属基带的影响,避免高温下金属衬底晶粒长大和热蚀沟加深对氧化铈涂层的破坏,提高了涂层的表面质量。采用该方法制备的氧化铈涂层具有锐利的双轴织构,表面光滑平整、无裂纹,有利于外延生长超导层。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤一、将有机铈盐溶解于丙酸,然后加入纳米银粒子,配制成铈离子浓度为0.2mol/L~1mol/L的前驱液;所述前驱液中纳米银粒子的摩尔量为铈离子摩尔量的0.05%~1%;
步骤二、采用旋涂法将步骤一中所述前驱液涂覆于基底上,然后将涂覆有前驱液的基底置于管式炉中,在还原性气氛下,以20℃/min~100℃/min的升温速率将炉内温度升至850℃~950℃,并保温0.5h~1h,随炉冷却,得到纳米银掺杂氧化铈涂层;所述基底为NiW基底或NiW/La2Zr2O7基底。
上述的一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法,步骤一中所述有机铈盐为丙酸铈或乙酰丙酮铈。
上述的一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法,步骤一中所述纳米银粒子的尺寸为5nm~20nm。
上述的一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法,步骤一中所述前驱液中纳米银粒子的摩尔量为铈离子摩尔量的0.5%。
上述的一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法,步骤二中所述旋涂的转速为500rpm~4000rpm,旋涂时间为30s~180s。
上述的一种纳米银掺杂氧化铈涂层的制备方法,步骤二中所述还原性气氛为氩气与氢气的混合气氛,混合气氛中氢气的体积百分含量为2%~8%。
本发明与现有技术相比具有以下优点:
1、本发明通过在前驱液中引入纳米银粒子,分散的纳米银粒子可以在氧化铈涂层中形成有效应力释放中心,促进氧化铈涂层在成相减薄过程中应力均匀释放,避免氧化铈涂层在减薄、收缩过程中形成裂纹和孔洞,降低了氧化铈薄膜表面的粗糙度。
2、本发明通过纳米银的诱导形核生长,可以帮助氧化铈薄膜在较低温度成相,减少传统高温热处理对NiW金属基带的影响,避免高温下金属衬底晶粒长大和热蚀沟加深对氧化铈涂层的破坏,提高了涂层的表面质量。
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