[发明专利]一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法及其应用

权利要求书

1.一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：它包括如下步骤：

1）合成苄基溴化喹啉化合物；

2）用溶剂稀释苄基溴化喹啉化合物到8~15%，以质量百分数计。

2.根据权利要求1所述的一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述苄基溴化喹啉的分子式为：

。

3.根据权利要求1所述的一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的步骤1）苄基溴化喹啉化合物合成方法为：取1.0~1.3mol喹啉和1.0~1.5mol溴化苄，将1.0~1.3mol喹啉加入到喹啉与溴化苄总质量的5%反应溶剂中，搅拌均匀，然后滴加1.0~1.5mol溴化苄，10~15min滴加完，快速升温到160~190℃，反应3~8h，降之室温即得苄基溴化喹啉化合物。

4.根据权利要求3所述的一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的反应溶剂是甲醇、无水乙醇、异丙醇、二甲基亚砜或吡啶。

5.根据权利要求3所述的一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的喹啉和溴化苄摩尔比为1.0~1.1:1.0~1.3，反应温度为160~180℃，反应时间为3~5h。

6.根据权利要求1所述的一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：在步骤2）苄基溴化喹啉化合物的稀释过程中，加入2~6%的增效剂，以质量百分数计。

7.根据权利要求6所述的一种新型高效酸化缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的增效剂为丙炔醇、碘化钾、碘化亚铜、氯化亚铜、三氧化二锑、三氯化锑中的一种或几种混合。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其中步骤2）所述的溶剂为甲醇、无水乙醇、异丙醇、丙酮或二甲基甲酰胺中的一种或多种混合。