[发明专利]用于超导稳频振荡器的超导谐振腔的内表面处理方法

权利要求书

1.用于超导稳频振荡器的超导谐振腔的内表面处理方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

离心式滚磨抛光，向超导谐振腔内添加磨料，超导谐振腔绕设于其外部的转轴转动的同时绕自身的中心线转动，离心式滚磨抛光的时间为10-15天；

低温退火，低温退火的温度为750℃，低温退火的时间为2-5小时，低温退火时的真空度为10^-8-10^-10torr，低温退火后随炉冷却至室温；

高温退火，高温退火的温度为1400-1500℃，高温退火的时间为24-32小时，高温退火时的真空度为10^-8-10^-10torr，高温退火后随炉冷却至室温；

化学抛光，化学抛光的抛光剂使用体积比氢氟酸：硝酸：磷酸为1：1：1的第一混合酸溶液，将所述第一混合酸溶液添加到超导谐振腔中，化学抛光的时间为20-40分钟，化学抛光的深度为100-200μm；

电抛光，电抛光的抛光剂使用体积比氢氟酸：硫酸为1：9的第二混合酸溶液，将所述第二混合酸溶液添加到超导谐振腔中，然后在所述第二混合酸溶液与超导谐振腔的内表面之间施加220V的交流电压，且施加该交流电压的时间为20-40分钟，使得所述第二混合酸溶液与超导谐振腔的内表面之间产生电化学反应；

高压水冲洗，高压水冲洗时使用国家一级电子水，其水压为80kgf/cm²,高压水冲洗的时间为40-120分钟；

低温烘烤，低温烘烤的温度为70-80℃，低温烘烤的时间为3-7天，低温烘烤时的真空度为3*10^-8-3.8*10^-9torr。

2.根据权利要求1所述的用于超导稳频振荡器的超导谐振腔的内表面处理方法，其特征在于，低温退火之后，高温退火开始之前，超导谐振腔一直处于真空度为10^-8-10^-10torr的真空环境中。

3.根据权利要求1所述的用于超导稳频振荡器的超导谐振腔的内表面处理方法，其特征在于，进行化学抛光前，用超声波对超导谐振腔进行清洗。

4.根据权利要求1所述的用于超导稳频振荡器的超导谐振腔的内表面处理方法，其特征在于，化学抛光时所述第一混合酸溶液的温度为20℃-24℃。

5.根据权利要求1所述的用于超导稳频振荡器的超导谐振腔的内表面处理方法，其特征在于，低温烘烤时的升温速率为5℃/30分钟。