[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201310415110.X | 申请日: | 2013-09-12 |
公开(公告)号: | CN103474418A | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 蔡振飞;张明;李琳;郝昭慧 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544;H01L27/12;H01L21/84 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 及其 制作方法 显示装置 | ||
技术领域
本发明涉及显示器制作领域,尤其涉及一种阵列基板及其制作方法、显示装置。
背景技术
为检测阵列基板制作过程中的不良缺陷,现有的阵列基板中往往在阵列基板的周边区域(非显示区域)设置检测短路环,该检测短路环与位于显示区域的若干条顺序排列的数据信号线连接,如图1所示为现有的阵列基板中检测短路环设计示意图,由图中可知现有阵列基板中设置两个检测短路环,分别为第一检测短路环1和第二检测短路环2,第一检测短路环1与源漏极位于同一层,并由制作数据信号线3的数据金属制作,与排列顺序为奇数的数据信号线3连接为一体结构,第二检测短路环2与栅极位于同一层,并由制作栅极的栅极金属制作而成,然后通过过孔与排列顺序为偶数的数据信号线连接。
阵列基板制作过程中,往往会产生静电荷,过多的静电荷积累,容易在金属交叠的区域形成静电击穿,由图1可知,现有的检测短路环设计中,第一检测短路环1与第二检测短路环2设置在不同层,第二检测短路环2设置在第一检测短路环与数据信号线3连接的一侧(即第一检测短路环靠近显示区域的一侧),这样第二检测短路环2与数据信号线3存在交叠区域30,第二检测短路环由栅极金属制作,数据信号线由数据金属制作,由于静电荷的积累,容易在第二检测短路环2与数据信号线金属交叠的区域,形成静电击穿。
发明内容
本发明的目的是提供一种阵列基板及其制作方法、显示装置,以解决现有技术中第二检测短路环与数据信号线金属交叠区域容易形成静电击穿的问题。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的:
本发明一方面提供了一种阵列基板,包括位于显示区域、顺序排列的若干条数据信号线,以及位于非显示区域、与排列顺序为奇数的数据信号线连接为一体结构的第一检测短路环,所述数据信号线位于所述第一检测短路环靠近显示区域的一侧,还包括:位于非显示区域的第二检测短路环和连接线,所述第二检测短路环设置于所述第一检测短路环远离显示区域的一侧,所述连接线通过过孔将所述第二检测短路环和排列顺序为偶数的数据信号线连接。
本发明中,所述连接线通过过孔将所述第二检测短路环和排列顺序为偶数的数据信号线连接起来,使得第二检测短路环与第一检测短路环不具有交叠区域,能够避免形成静电击穿。
较佳的,所述第二检测短路环与所述第一检测短路环同层设置、并具有相同的制作材料,能够在制作数据信号线时,同时制作第一检测短路环和第二检测短路环,工艺实现简单。
较佳的,开设有过孔的钝化层形成在所述第二检测短路环、以及排列顺序为偶数的数据信号线之上,在所述钝化层上形成有通过所述过孔将所述第二检测短路环和排列顺序为偶数的数据信号线连接起来的连接线,使得第二检测短路环与数据信号线过孔连接方式简单,工艺实现简单。
进一步的,所述第二检测短路环靠近所述第一检测短路环的一侧设置有检测信号线,所述检测信号线的数量和与该第二检测短路环通过过孔连接的数据信号线数量相同;
所述过孔包括开设在所述检测信号线设定位置处的第一过孔和开设在排列顺序为偶数的数据信号线设定位置处的第二过孔,所述连接线的一端通过第一过孔与所述检测信号线连接,所述连接线的另一端通过第二过孔与所述数据信号线连接。
本发明中通过在第二检测短路环上设置检测信号线,并通过检测信号线与数据信号线过孔连接,能够降低线电阻。
较佳的,所述第二检测短路环与阵列基板的栅极同层设置、具有相同的制作材料,使得在制作栅极时候能够完成第二检测短路环的制作,工艺实现简单。
进一步的,在所述第二检测短路环上形成有栅极绝缘层和钝化层,在排列顺序为偶数的数据信号线上形成有钝化层,其中,
在排列顺序为偶数的数据信号线设定位置处的所述钝化层开设有第三过孔,在所述第二检测短路环设定位置处贯穿所述栅极绝缘层和所述钝化层开设有第四过孔,在所述钝化层上形成有通过所述第三过孔和所述第四过孔将所述第二检测短路环和排列顺序为偶数的数据信号线连接起来的连接线,使得第二检测短路环与数据信号线过孔连接方式连接,工艺实现简单。
进一步的,所述第二检测短路环靠近所述第一检测短路环的一侧设置有检测信号线,所述检测信号线的数量和与该第二检测短路环通过过孔连接的数据信号线数量相同;所述第四过孔位于所述检测信号线设定位置处,能够降低线电阻。
较佳的,连接线为透明导电薄膜,使得第二检测短路环与第一检测短路环交叠区域采用透明导电薄膜跨接,透明导电薄膜与数据金属材料之间不会产生静电击穿,避免静电击穿的形成
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