[发明专利]用于运行和／或测量微机械装置的方法和微机械装置

说明书

建议一种用于运行和／或测量微机械装置的方法，其中，微机械装置具有可相对于衬底振动运动的第一振动质量和可相对于衬底同样振动运动的第二振动质量，其中，该微机械装置分别平行于驱动方向及根据第一定向具有用于偏转第一振动质量的第一驱动装置和用于偏转第二振动质量的第二驱动装置，其中，该微机械装置平行于驱动方向及根据与第一定向相反的第二定向地具有用于偏转第一振动质量的第三驱动装置和用于偏转第二振动质量的第四驱动装置，其中，该微机械装置具有用于检测第一振动质量的驱动运动的第一检测装置，其中，该微机械装置具有用于检测第二振动质量的驱动运动的第二检测装置，其中，为了运行和／或为了测量微机械装置，通过第一检测装置产生第一检测信号和通过第二检测装置产生第二检测信号，其中，第一检测信号与第二检测信号分开地求值。

技术领域

本发明涉及一种用于运行和／或测量微机械装置的方法以及一种根据并列权利要求前序部分所述的装置。

背景技术

微机械装置、特别是微机械转速传感器是普遍公知的，其具有主要使用静电的梳形指驱动装置。为了精确调整工作振幅，在公知的微机械装置中通常，不仅使用受驱动的梳形指结构(所谓的驱动梳)，以便将力输入耦合到微机械装置的能振荡的并因此可以从静止位置偏转出的构件中，而且使用其它的梳形指结构，所谓的驱动检测梳，以便测量作为驱动电路的调节量使用的电容量差。

例如文献US5025346A公开了—种具有载体衬底和振动质量的微机械装置，其中，载体衬底和振动质量具有多个电极，使得振动质量可沿运动方向相对于载体衬底运动。

为运行微机械装置、特别是转速传感器，通常由电路产生周期性的电压波形(例如正弦或矩形脉冲)，然后通过传感器上的电容驱动结构将其转换成周期性的驱动力，这些力使微机械装置的部件、特别是起振动质量作用的那些部件置于振动中。

作为转速传感器经常使用由对称耦合的分振动器构成的传感器，从而可以通过差分分析原理减少干扰影响。

但是，受加工条件的限制可能会出现微机械装置的分振动器之间的不对称，这对微机械装置或者特别是对转速传感器的功能性产生不利影响。

发明内容

根据本发明的用于运行和／或测量微机械装置的方法和根据并列权利要求所述的微机械装置与现有技术相比具有优点：通过之前的特性化测量(Charakterisierungsmessung)能够获取关于微机械装置的分振动器之间由制造条件造成的不对称的信息，使得通过适当的筛分措施能够在制造之后筛选出这样的微机械装置，在这种微机械装置中分振动器之间的这种不对称特别大。由此，根据本发明可以在系统集成化之前及由此在成本有利的状况中，相应地检测一组微机械装置有缺陷的样品并由此总体上成本更加有利地形成制造过程。根据本发明设置了，在一种具有两个分振动器或一个第一分结构和一个第二分结构的微机械装置中，一方面实现对称的力输入耦合(特别是通过一方面第一驱动装置与第四驱动装置相连接及另一方面第二驱动装置与第三驱动装置相连接)及另一方面能够尤其是采用专用测量技术(预测量)以电途径简单地测定传感器的非对称性，用于获得微机械装置由加工造成的缺陷方面的信息。根据本发明特别有利的是，微机械装置的分振动器或第一分结构和第二分结构的偏转可以分开测量。特别是根据本发明有利的可以是，为了实施微机械装置的测量(也就是在制造期间或在特性化／平衡期间)，第一检测信号与第二检测信号被分开地分析及为了运行微机械装置，第一检测信号被与第二检测信号共同求值，特别是以第一和第二检测信号或第二和第一检测信号的差分信号的形式。

本发明的构型和进一步构型可参照附图由从属权利要求及说明书中得出。

根据本发明一种优选的进一步构型，第一检测装置仅仅检测第一振动质量的驱动运动及第二检测装置仅仅检测第二振动质量的驱动运动。由此，根据本发明可以以特别有利的方式获取关于第一和第二振动质量、尤其是关于微机械装置的分振动器之间的不对称性及尤其是在之前的特性化测量时的附加信息。