[发明专利]形状测量装置

权利要求书

1.一种形状测量装置，该形状测量装置具备：

平台；

第一移动体，其配置于所述平台上，具有沿所述平台的XY轴方向中的任一个的第一轴方向延伸且与所述平台相连结的第一固定部和相对于所述第一固定部沿所述第一轴方向进行前后移动的第一可动部；

移动辅助体，其具有沿所述第一轴方向延伸且与所述平台连结的辅助体固定部和相对于所述辅助体固定部与所述第一可动部的移动方向大致平行地进行前后移动的辅助体可动部；以及

第二移动体，其具有沿所述平台的所述XY轴方向中的与所述第一轴方向正交的第二轴方向延伸的第二固定部和相对于所述第二固定部在所述第二轴方向上进行左右移动的第二可动部，所述第二固定部的一端部能移动地支承于所述第一移动体，另一端部固定于所述移动辅助体的所述辅助体可动部，

所述第一移动体具有包括所述第一固定部和所述第一可动部的第一轴方向驱动装置，并且所述第二移动体具有包括所述第二固定部和所述第二可动部的第二轴方向驱动装置，驱动所述第一轴方向驱动装置而使XY工作台与所述第一可动部一起相对于所述第一固定部在所述第一轴方向上移动，

当驱动所述第二轴方向驱动装置而使所述XY工作台与所述第二可动部一起相对于所述第二固定部在所述第二轴方向上移动时，利用所述移动辅助体承受所述第二可动部移动时产生的力的反作用，

利用所述XY工作台支承对测量物的表面进行测量的探针和所述测量物中的其中一方，将另一方支承于所述平台，

驱动所述XY工作台而使所述探针相对于所述测量物的所述表面在XY轴方向上相对地进行扫描，根据由所述探针获得的信息测量所述测量物的形状。

2.根据权利要求1所述的形状测量装置，其中，

该形状测量装置还具备连结机构，该连结机构使所述移动辅助体的所述辅助体可动部与所述第一移动体的所述第一可动部的移动相应地同步移动。

3.根据权利要求1或2所述的形状测量装置，其中，

该形状测量装置还具备：

位置检测装置，其用于检测所述第二移动体的所述第二可动部相对于所述第一移动体的位置；

位置控制部，其基于由所述位置检测装置检测的所述第二可动部的位置来对所述第二轴方向驱动装置进行驱动控制。