[发明专利]多通道激光吸收光谱测量系统

权利要求书

1.一种多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，包括：

可调节激光器组，所述可调节激光器组包括多个可调节激光器；

激光合成单元，所述激光合成单元用于将所述多个可调节激光器发出的激光汇成一束合成激光束；

激光分光单元，所述激光分光单元用于将所述激光束合成单元发出的所述合成激光束分为相同的第一激光束和第二激光束；

法布里-珀罗干涉仪，所述法布里-珀罗干涉仪用于激光频率标定，所述第一激光束经过所述法布里-珀罗干涉仪；

第一检测器，所述第一检测器位于所述法布里-珀罗干涉仪的后端，用于检测经过所述法布里-珀罗干涉仪后的第一激光束的强度；

待测气体腔室，所述待测气体腔室用于容纳待测气体，所述第二激光束经过所述待测气体腔室；

第二检测器，所述第二检测器位于所述待测气体腔室的后端，用于检测经过所述待测气体腔室后的第二激光束的强度；和

显示装置，所述显示装置与所述第一检测器和所述第二检测器相连，用于显示检测结果。

2.如权利要求1所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，还包括：

第一衰减片，所述第一衰减片位于所述激光分光单元与所述法布里-珀罗干涉仪之间的所述第一激光束的光路上；和

第二衰减片，所述第二衰减片位于所述激光分光单元与所述待测气体腔室之间的所述第二激光束的光路上。

3.如权利要求1或2所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，所述多个可调节激光器覆盖的波长范围大于100nm。

4.如权利要求1或2所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，所述激光合成单元包括反射镜和半透半反镜的组合。

5.如权利要求1或2所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，所述激光分光单元包括反射镜和半透半反镜的组合。

6.如权利要求1或2所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，所述第一检测器和所述第二检测器的灵敏度可调。

7.如权利要求1或2所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，所述显示装置为示波器。

8.如权利要求1或2所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，所述显示装置的时间分辨能力不低于所述第一检测器和所述第二检测器的时间分辨能力。

9.如权利要求1或2所述的多通道激光吸收光谱测量系统，其特征在于，所述可调节激光器组包括共面平行出光的、依次排列的第一可调节激光器、第二可调节激光器和第三可调节激光器；并且，

所述激光合成单元包括：

第一反射镜，所述第一反射镜被构造为用于反射所述第二可调节激光器发出的激光；

第一半透镜，所述第一半透镜被构造为用于反射所述第一可调节激光器发出的激光，并且透过由所述第一反射镜反射的第二可调节激光器发出的激光，合成第一可调激光器和第二可调激光器的合成激光；

第二反射镜，所述第二反射镜被构造为用于反射所述第一可调激光器和第二可调激光器的混合激光；和

第二半透镜，所述第二半透镜被构造为用于透过所述第三可调节激光器发出的激光，并且反射由所述第二反射镜反射的所述第一可调激光器和第二可调激光器的混合激光，合成第一可调激光器、第二可调激光器和第三可调激光器的合成激光。