[发明专利]一种对SIMS数据进行读取和分析的方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及计算机技术领域，具体涉及一种对SIMS数据进行读取和分析的方法及系统。

背景技术

二次离子质谱Secondary-ion-mass spectroscope（SIMS），是利用质谱法分析初级离子入射靶面后，溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素，并能给出同位素的信息、分析化合物组分和分子结构。二次离子质谱具有很高的灵敏度，可达到ppm甚至ppb的量级，还可以进行微区成分成像和深度剖面分析。因此，SIMS是一种分析材料组分和结构的有力工具。

二次离子质谱的图谱分析是SIMS测试最重要、最关键的步骤。只有准确读取并详尽的分析了测试数据，才能够掌握所测试材料的特征。而SIMS测试数据多而复杂，如何快速、清晰、准确、有效的读取并分析数据特征成为SIMS测试意义的关键点。目前，市面上并没有通用的SIMS测试结果分析软件系统，给SIMS分析工作带来不便。

发明内容

针对现有技术缺陷，本发明提供一种对SIMS数据进行读取和分析的方法及系统，可以批量读取数据，逐个或群体分析SIMS结果，并能够灵活的输出Bitmap、TEXT、EXCEL等多种格式的分析结果档案资料。

本发明提供了一种对SIMS数据进行读取和分析的方法，包括：

输入二次离子质谱SIMS测试结果数据，解析SIMS测试结果数据中所包含的元素；

对SIMS测试结果中的环境元素进行过滤，留下分析元素；

基于设置的分析模式对分析元素进行模式分析；

对分析的分析元素进行功能编辑；

对功能编辑完的分析元素按照设置的格式文档进行内容输出。

所述模式分析包括：面密度分析、斜率分析、均值分析、结深分析、厚度分析、厚度标示。

所述对分析的SIMS测试结果数据进行功能编辑包括：图表特征编辑、横坐标特征编辑、纵坐标特征编辑、单位编辑、图表标题编辑、图表背景编辑、图表缩放功能编辑。

所述对功能编辑完的SIMS测试结果数据按照设置的格式文档进行内容输出中的格式文档包括：EXCEL格式测试数据、TEXT格式文档、Bitmap格式图片。

所述输入二次离子质谱SIMS测试结果数据包括：

输入一个或者一个以上的SIMS测试结果数据进行多个样品的直接对比分析。

相应的，本发明实施例还提供了一种对SIMS数据进行读取和分析的系统，所述系统包括：

输入模块，用于输入二次离子质谱SIMS测试结果数据，解析SIMS测试结果数据中所包含的元素；

元素过滤模块，用于对SIMS测试结果中的环境元素进行过滤，留下分析元素；

分析模块，用于基于设置的分析模式对分析元素进行模式分析；

功能编辑模块，用于对分析的分析元素进行功能编辑；

输出模块，用于对功能编辑完的分析元素按照设置的格式文档进行内容输出。

所述分析模块中的模式分析包括：面密度分析、斜率分析、均值分析、结深分析、厚度分析、厚度标示。

所述功能编辑模块中的功能编辑包括：图表特征编辑、横坐标特征编辑、纵坐标特征编辑、单位编辑、图表标题编辑、图表背景编辑、图表缩放功能编辑。

所述对功能编辑完的SIMS测试结果数据按照设置的格式文档进行内容输出中的格式文档包括：EXCEL格式测试数据、TEXT格式文档、Bitmap格式图片。

所述输入模块用于输入一个或者一个以上的SIMS测试结果数据进行多个样品的直接对比分析。

以上技术可以看出，本发明实施例可快速、详细、直观的读取SIMS测试结果，并以图谱形式显示。通过本发明实施例的数据分析与处理模块分析图谱的特征及任意点的数据；通过编辑模块实现图谱图像的个性化编辑。本系统可以输出EXCEL格式测试数据、图谱曲线图、SIMS测试结果整合报告多种结果。方便用户快速了解SIMS测试结果数据内容。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本发明实施例中的对SIMS数据进行读取和分析的方法流程图；

图2是本发明实施例中的对SIMS数据进行读取和分析的系统结构示意图；