[发明专利]一种多晶硅还原炉水系统热能回收系统及工艺有效
申请号: | 201310404782.0 | 申请日: | 2013-09-06 |
公开(公告)号: | CN103449443A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 陈宏伟;许晟 | 申请(专利权)人: | 上海森松环境技术工程有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035;F27D17/00 |
代理公司: | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人: | 马育麟 |
地址: | 200137 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 水系 热能 回收 系统 工艺 | ||
1.一种多晶硅还原炉水系统热能回收系统,包括还原炉、集中闪蒸罐,其特征在于所述还原炉回水出口分别连接到各自的总管,然后分别和所述集中闪蒸罐上部同一侧的回水口相连;所述集中闪蒸罐另一侧上部的出气口接入蒸汽管网;所述集中闪蒸罐下部出水管接到高温水进口总管上;所述高温水进口总管分别接管到所述每台还原炉的进水口。
2.根据权利要求1所述的热能回收系统,其特征在于所述还原炉回水出口包括所述还原炉的炉筒的高温回水出口、所述还原炉的底盘的高温回水出口、所述尾气冷却器的管程回水出口以及所述尾气冷却器的夹套回水出口的至少任意一个或其组合。
3.根据权利要求2所述热能回收系统,其特征在于所述还原炉的炉筒的高温回水出口、所述还原炉的底盘的高温回水出口、所述尾气冷却器的管程回水出口或所述尾气冷却器的夹套回水出口的任意一个或多个与各自的总管之间设有流量调节装置。
4.根据权利要求1所述的热能回收系统,其特征在于所述还原炉的进水口为所述每台还原的炉筒进水管口、底盘进水管口、尾气冷却器管程进水口以及尾气夹套管进水口的至少任意一个或其组合。
5.根据权利要求4所述的热能回收系统,其特征在所述尾气夹套管出水口和尾气冷却器夹套进水口相连。
6.根据权利要求1所述的热能回收系统,其特征在于闪蒸罐下部出水管与所述高温水进口总管之间设有热水循环泵相连,所述热水循环泵入口连接到所述闪蒸罐下部出水管,所述热水循环泵出口连接到高温水进口总管上。
7.根据权利要求6所述的热能回收系统,其特征所述热水循环泵为两台并联。
8.根据权利要求1所述热能回收系统,其特征在于所述闪蒸罐设有压力传感器。
9.根据权利要求1所述热能回收系统,其特征在于所述闪蒸罐设有控制阀。
10.根据权利要求1所述热能回收系统,其特征在于所述闪蒸罐设有补水管,通过集中闪蒸罐的补水管线向所述系统里加入适量的水,水量为正常运行时管路中的总水量加上集中闪蒸罐一半的容积的水量。
11.根据权利要求1所述热能回收系统,其特征在于所述闪蒸罐设有开车蒸汽加热管。
12.根据权利要求1所述热能回收系统,其特征在于所述集中闪蒸罐上部的出气口分别接入精馏塔或氯硅烷汽化器。
13.根据权利要求1-12的任意一种多晶硅还原炉水系统热能回收系统的工艺,其特征在于通过高温热水将还原炉内的反应余热带出,分别传送到集中闪蒸罐,将闪蒸后高温热水通过高温回水总管回流至还原炉,高温蒸汽通过蒸汽管网给其他设备供热。
14.根据权利要求13所述热能回收系统工艺,其特征在于通过控制还原炉的炉筒的高温回水总管的压力,还原炉的底盘的高温回水总管的压力以及尾气冷却器的高温回水总管的压力,使它们各自的压力超过使用温度下饱和蒸汽压1bar.g左右。
15.根据权利要求13所述热能回收系统工艺,其特征在于高温回水总管的高温热水温度为150-160度。
16.根据权利要求13所述热能回收系统工艺,其特征在于通过调整和控制闪蒸罐压力,闪蒸出2-3bar.g的蒸汽。
17.根据权利要求13-16任一项所述热能回收系统工艺,其特征在于提供热量后的高温热水为130-140度的饱和水,并回流至还原炉。
18.根据权利要求13-16任一项所述热能回收系统工艺,其特征在于通过外源热源加热集中闪蒸罐的常温水,在第一次开车中使用时,将常温的冷却水加热到130-140度成为高温冷却水。
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