[发明专利]生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和工艺

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体地涉及一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和处理工艺。

背景技术

利用三氯硅烷还原生成多晶硅过程中产生的尾气通常需要经过水淋洗后达标排放。但是，淋洗后的废水中漂浮大量的渣(SiO₂，俗称白炭黒)。渣的粒径很小属纳米级，用水刚淋洗下来漂浮在水面。大量的渣在输送过程中经常堵塞水泵及管道。为此，目前采用人工打捞的方式收集废水内的渣。然而采用人工打捞，人工输送，所需工人较多，工人劳动强度较大，劳动环境较差，所需空间大。

由此，生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和处理工艺有待改进。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本发明的目的在于提出一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备和工艺。利用根据本发明实施例的设备依据本发明实施例的工艺，可以有效地处理多晶硅生产所产生的尾气，提高了多晶硅尾气处理的效率，节省了人工劳动强度，改善了劳动环境。

根据本发明第一方面的实施例提出了一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，包括：用于淋洗尾气的尾气淋洗塔；水解池，所述水解池与所述尾气淋洗塔相连，用于接纳从所述尾气淋洗塔排出的废水；中和槽，所述中和槽与所述水解池相连；和刮渣机，所述刮渣机可移动地设置在所述水解池上方，用于将所述水解池内的废水表面漂浮的渣刮到所述中和槽内。

根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备，可以自动地处理生产多晶硅过程中产生的尾气经过淋洗生成的漂浮在废水表面的渣，不仅可以有效地收集所产生的废渣，提高了多晶硅尾气处理的效率，并且彻底改变了传统工艺采用人工打捞的低效收集方式，改善了工人高强度劳动。

优选地，所述中和槽内设有搅拌装置。由此可以提高中和反应的效率和效果。

优选地，所述搅拌装置从所述中和槽的上方向下伸入所述中和槽。

优选地，所述中和槽的下部设有出渣口，所述出渣口连接有渣泵。

经过中和反应的废渣沉降在中和槽的下部，通过在所述中和槽的下部设有出渣口，并利用所述出渣口连接的渣泵可以有效地转移经过中和的废渣，从而有利于后续对废渣的进一步处理。

优选地，所述生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理设备进一步包括与所述渣泵相连的压滤机。

由于经过中和反应的废渣是含有水分的，利用与渣泵相连的压滤机可以将经过中和处理的废渣经渣泵输送至压滤机进行脱水处理，从而有效地提高处理废渣的效率。

优选地，所述中和槽和所述水解池一体形成。由此，经过淋洗的生产多晶硅尾气可以在水解池中进行充分水解后直接通过刮渣机将水面漂浮的纳米级废渣转移到一体形成的中和槽中，避免了中间废渣的存留和损失，可以尽可能多的将本设备系统中经过水解产生的废渣进行中和反应，进而提高了生产多晶硅尾气的处理效率。

优选地，所述中和槽上方设有用于将石灰自动添加到中和槽内的中和剂添加装置。

在中和槽中是利用中和剂石灰与经过水解生成的废渣进行的中和反应的，通过设置的中和剂添加装置可以将中和剂石灰均匀有效地加入中和槽中内，从而提高中和反应进行的效率。

根据本发明第二方面的实施例提供了一种生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺，包括以下步骤：对生产多晶硅产生的尾气进行淋洗；将淋洗得到的废水输送到水解池；利用刮渣机将水解池内的废水表面漂浮的渣刮到中和槽内；和向中和槽内投放石灰中和刮到中和槽内的渣。

根据本发明实施例的生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺，可以有效自动地处理生产多晶硅过程中产生的尾气经过淋洗生成的漂浮在废水表面的渣，由此不仅可以有效地收集所产生的废渣，提高了多晶硅尾气处理的效率，并且彻底改变了传统工艺采用人工打捞的低效收集方式，改善了工人高强度劳动。

优选地，所述生产多晶硅产生的尾气的淋洗处理工艺进一步包括将中和后的渣输送到压滤机脱水后进行废固处理；和将水解池内的废水送至废水处理厂进行处理。

由此，可有效地处理利用压滤机进行脱水处理的废渣，并且由于该废渣经过了中和处理，对其进行废固处理可以达到环保要求；此外将水解池内的废水送至废水处理厂进行处理可以达到有效循环利用的目的，节省了能源。

优选地，在中和渣的过程中同时搅拌。由此提高中和效果。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明