[发明专利]基于压电扫描管阶跃响应曲线的原子力显微镜动态成像方法

权利要求书

1.一种基于压电扫描管阶跃响应曲线的原子力显微镜动态成像方法，其特征在于该方法具体步骤如下：

第1、首先获得压电扫描管的动态特性信息

第1.1、增益系数的标定：在开环控制下，利用标定光栅对压电扫描管的前置高压放大器增益系数                                               ，和激光检测系统增益系数进行标定；

第1.2、压电扫描管阶跃响应曲线的测量：在开环控制下，通过RTLinux控制平台在压电扫描管上施加单位阶跃信号，同时记录激光检测系统的输出信号，处理得到压电扫描管的阶跃响应曲线，并对该曲线进行采样，记为，其中为采样间隔，，为总的采样点数；

第2、利用上步已获得的压电扫描管动态特性信息，对不同的样品进行成像

第2.1、采集成像所需数据：调节控制器参数，使扫描探针对样品表面的跟踪效果达到最优，记录下控制电压输入信号和控制误差信号；

第2.2、动态成像：将第2.1步采集的数据，和第1.2步得到的压电扫描管阶跃响应曲线采样序列、以及增益系数、代入成像公式(7)：

 (7)

其中为第n个采样点时的样品形貌高度值，为第个采样点时的控制电压输入，为第个采样点时的控制误差，为第个采样点时的压电扫描管阶跃响应值，初始状态设置为。