[发明专利]一种多晶硅干法尾气分离回收的方法及装置在审
| 申请号： | 201310393698.3 | 申请日： | 2013-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103466548A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 宋高杰;张旭;陈文岳;刘桂林 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/52 | 分类号： | C01B3/52;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 830011 新疆维吾*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅干法 尾气 分离 回收 方法 装置 | ||
1.一种多晶硅干法尾气分离回收的方法，其特征在于：首先从解析塔（2）侧线采出产品氯硅烷去产品罐区；再从解析塔（2）底部采出温度较高的123-135℃贫液通过循环液输送泵（4）与吸收塔1塔底温度较低的15-35℃富液换热后作为吸收塔（1）的吸收液。
2.一种用于权利1所述的多晶硅干法尾气分离回收的方法的装置，其特征为包括：吸收塔（1），解析塔（2）、换热器（3）和循环液输送泵（4）；其特征在于所述解析塔（2）塔底与循环液输送泵（4）进口连通；循环液输送泵（4）出口与换热器（3）管程下端入口连通；换热器（3）管程上端出口与吸收塔（1）上部入口连通；吸收塔（1）底部出口与换热器（3）壳程下端入口连通；换热器(3)壳程上端出口与解析塔(2)中部进料口连通；解析塔(2)中下部侧线采出产品利用压差送至产品罐区。
3.根据权利要求2所述的多晶硅干法尾气分离回收的方法的装置，其特征为所述的吸收塔(1)、解析塔(2)均为填料塔，且塔内均设有液体收集器及分布器；所述的解析塔有三段填料组成，设备中下部两段填料间设有侧线采出口；所述的换热器(3)是双管程换热器。
4.根据权利要求1、2或3所述的多晶硅干法尾气分离回收方法，其特征为吸收塔（1）、解析塔（2）、换热器（3）均为法兰连接。
5. 根据权利要求1、2或3所述的多晶硅干法尾气分离回收方法，其特征为吸收塔（1）、解析塔（2）两塔内设置的液体收集器，分布器，去沫器必须能够从塔设备的人孔进行装卸；且收集器及分布器为配套使用，设有预防壁流构件，材质为SS304或耐蚀性更好的材质；去沫器为丝网结构，去沫效率不小于99.9%，材质为SS304或耐蚀性更好的材质。
6. 根据权利要求3所述的多晶硅干法尾气分离回收方法，其特征为解析塔三段填料结构为比表面积不小于250m2/m3的鲍尔环，材质为
SS304或耐蚀性更好的材质。
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