[发明专利]一种短路测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及电子电路和液晶制造领域，尤其涉及一种短路测量方法。

背景技术

目前薄膜晶体管-液晶显示屏(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，TFT-LCD)的制造过程大概可以分为三个阶段:阵列工艺、制盒工艺以及模组工艺。

在阵列工艺中，要在基板上镀多层膜，其中一层为栅极Gate线层，经过蚀刻等工艺在基板上形成横向或纵向排列Gate线层，它的好坏直接影响最终产品质量，所以对Gate线层是否存在短路情况的检测至关重要。

目前测试Gate线短路情况的主要装置为开路-短路（Open-Short，OS）测试装置，它可以检测到Gate线是否有短路情况。

如图1所示，为现有的OS设备测试Gate线是否发生短路的方法，Gate线5具有第一端1和第二端2，将Gate线5的第一端1作为输入端，输入测试信号，该输入测试信号为电压信号3，查看输出端第二端2的输出电压信号4，如果输出电压信号4与输入的电压信号3相比发生了变化，则确定该Gate线5发生了短路。

使用该方法进行短路测试时，必须要对每一根Gate线进行测量，以便确定是否发生短路，且对于发生短路的Gate线不能够确定具体的短路位置，如果需要确定具体的短路位置，还需要利用另外的光检装置进行扫描。

发明内容

本发明的目的是提供一种短路测量方法，可以通过检测目标信号线的电信号确定目标信号线的短路位置。

为了实现上述目的，本发明实施例提供了一种短路测量方法，所述方法包括：

确定待检测的源信号线和目标信号线；

输入电信号到所述源信号线的一端；

分别检测所述目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号，获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数；

根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置。

上述的短路测量方法，其中，所述方法还包括：

根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线与所述源信号线是否发生短路；

在所述目标信号线与所述源信号线发生短路时，执行所述根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置的步骤。

上述的短路测量方法，其中，所述目标信号线为一条或多条。

上述的短路测量方法，其中，所述目标信号线为一条时，所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路具体为：

当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时，确定所述目标信号线与所述源信号线未发生短路；

当所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时，确定所述目标信号线与所述源信号线发生短路。

上述的短路测量方法，其中，所述目标信号线为多条时，所述分别检测所述目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号，获取第一电信号的电参数和第二电信号的电参数具体为：

依次分别测量多条目标信号线第一端的第一电信号和第二端的第二电信号，分别获取多条目标信号线的第一电信号的电参数和第二电信号的电参数；

所述根据所述第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数确定所述目标信号线是否短路具体为：

当多条目标信号线中第一目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数为0时，确定所述第一目标信号线与所述源信号线未发生短路；

当多条目标信号线中第二目标信号线的第一电信号的电参数或所述第二电信号的电参数不为0时，确定所述第二目标信号线与所述源信号线发生短路。

上述的短路测量方法，其中，所述电参数至少包括电压值和电流值。

上述的短路测量方法，其中，所述根据所述第一电信号的电参数和第二电信号的电参数确定所述目标信号线的短路位置具体为：