[发明专利]响应压力的液态微电子机械系统组件

权利要求书

1.一种液态微电子机械系统（MEMS）组件，包括：

板材；

在所述板材内的通道框架；

柔性通道面，与所述通道框架匹配以在所述板材内形成通道；

包含在所述通道内的液体微滴；以及

靠近所述通道的一个或多个导电元件，其中，当压力被施加至所述柔性通道面时，所述液体微滴的形状相对于所述一个或多个导电元件而改变，从而改变所述液态微电子机械系统组件的操作特性。

2.根据权利要求1所述的液态微电子机械系统组件，还包括将所述压力施加至所述柔性通道面的压力致动器。

3.根据权利要求2所述的液态微电子机械系统组件，其中，所述压力致动器包括液态微电子机械系统装置，所述液态微电子机械系统装置包括：

在所述板材内的第二通道；

在所述第二通道内的第二液体微滴；

在所述第二通道内可移动定位的活塞；以及

微滴致动模块，可操作用于将力施加在所述第二液体微滴上，以使所述第二液体微滴将转移力施加在所述活塞上，从而又使所述活塞将所述压力施加在所述柔性通道面上。

4.根据权利要求2所述的液态微电子机械系统组件，其中，所述压力致动器包括：

尺寸收敛单元，可操作用于将所述压力施加在所述柔性通道面上，其中，所述尺寸收敛单元将来自使用者接触的力转移到所述柔性通道面上的聚集点。

5.根据权利要求1所述的液态微电子机械系统组件，还包括：

包含导电微滴的液体微滴；以及

所述一个或多个导电元件包括两个电触点，其中，当所述压力被施加至所述柔性通道面时，所述液体微滴与所述两个电触点接触，以及当所述压力未被施加至所述柔性通道面时，所述液体微滴与所述两个电触点中的至少一个不接触，使得所述液态微电子机械系统组件起开关的作用。

6.根据权利要求1所述的液态微电子机械系统组件，还包括：

包含掺杂有电介质的微滴的液体微滴；以及

所述一个或多个导电元件包括两个电容器板，其中，当所述压力被施加至所述柔性通道面时，所述液体微滴相对于所述两个电容器板而改变形状，由此改变介电特性，使得所述液态微电子机械系统组件起变抗器的作用。

7.根据权利要求1所述的液态微电子机械系统组件，其中，所述板材包括以下项中的一个：

印刷电路板（PCB）；

集成电路（IC）封装基板；以及

印刷电路板或集成电路封装基板的再分配层（RDL）。

8.根据权利要求1所述的液态微电子机械系统组件，还包括：

第二柔性通道面，与所述通道框架匹配以形成所述通道，其中，当所述压力被施加至所述柔性通道面和所述第二柔性通道面中的至少一个时，所述液体微滴的形状相对于所述一个或多个导电元件而改变，从而改变所述液态微电子机械系统组件的所述操作特性。

9.一种液态微电子机械系统（MEMS）组件，包括：

板材；

在所述板材内的通道；

机械连接至所述通道的柔性容器；

包含在所述柔性容器中的液体微滴；以及

靠近所述通道的一个或多个导电元件，其中，当压力被施加至所述柔性容器时，所述液体微滴被迫使推到所述通道中，从而改变所述液态微电子机械系统组件的操作特性。

10.一种液态微电子机械系统（MEMS）组件阵列，包括：

板材；

在所述板材内的多个通道框架；

柔性盖，与所述多个通道框架匹配以在所述板材内形成多个通道；

多个液体微滴，其中，所述多个液体微滴的一个液体微滴被包含在所述多个通道的一个通道内；以及

多个导电元件组，其中，所述多个导电元件组中的一个导电元件组靠近所述通道，其中，当压力被施加至所述柔性盖时，所述液体微滴的形状相对于所述一个导电元件组而改变，从而改变所述液态微电子机械系统组件阵列中的液态微电子机械系统组件的操作特性。