[发明专利]电气设备的模拟通道参数配置方法及系统

权利要求书

1.一种电气设备的模拟通道参数配置方法，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，其特征在于，包括以下步骤：

在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；所述数据结构包括通道号及通道最大范围；

增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置，且对模拟通道参数进行设置的预设数据与电气设备的名称对应；所述配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列，每一模拟通道的通道号与对该模拟通道进行设置的配置文件中的数据在配置文件中的位置对应；

当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；

根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。

2.根据权利要求1所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于：

所述驱动文件中包括数据结构数据更改文件；

所述配置文件通过调用所述数据结构数据更改文件，对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置。

3.根据权利要求1所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于，所述当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据，包括以下步骤：

当需要增加对电气设备实施控制操作的新的模拟通道时，在配置文件中增加对所述新的模拟通道进行设置的新的数据；

当需要删除一对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中删除对需要删除的对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据；

当需要更改一对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值时，在配置文件中对需要更改的对电气设备实施控制操作的模拟通道的参数值进行更改；

当需要调换两个对电气设备实施控制操作的模拟通道时，在配置文件中调换对所述需要调换的两个对电气设备实施控制操作的模拟通道进行设置的数据。

4.根据权利要求1至3任一项所述的电气设备的模拟通道参数配置方法，其特征在于，所述根据所述新数据对所述半导体制造中电气设备实施控制操作，包括以下步骤：

读取半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值；

根据所述半导体制造中工艺加工过程中电气设备预设输入值，及所述新数据，计算得到需要向所述对所述电气设备实施控制操作的模拟通道输入的控制数值，输入到所述电气设备，并控制所述电气设备实施操作。

5.一种电气设备的模拟通道参数配置处理系统，所述模拟通道用于与半导体制造中的电气设备进行通信，通过对所述模拟通道进行参数配置，实现对所述电气设备的控制，其特征在于，包括数据结构设置模块，配置文件设置模块，数据更改模块及控制模块，其中：

所述数据结构设置模块，用于在电气设备的对应驱动文件中加入包括对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数的数据结构；所述数据结构包括通道号及通道最大范围；

所述配置文件设置模块，用于增加对所述数据结构进行设置的配置文件，根据预设数据对所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数进行设置，且对模拟通道参数进行设置的预设数据与电气设备的名称对应；所述配置文件中包括对每一模拟通道进行设置的数据，且所述对每一模拟通道进行设置的数据按所述通道号递增的方式顺序排列，每一模拟通道的通道号与对该模拟通道进行设置的配置文件中的数据在配置文件中的位置对应；

所述数据更改模块，用于当所述数据结构中对所述电气设备实施控制操作的模拟通道参数数据需要更改时，利用所增加的配置文件对需要更改的数据进行更改，得到更改后的新数据；

所述控制模块，用于根据所述新数据对所述电气设备实施控制操作。