[发明专利]加速度检测元件

说明书

技术领域

本发明涉及一种检测物体加速度的加速度检测元件。

背景技术

关于检测物体的加速度的有关技术，专利文献1中已公开了如下的传感器元件，即在被流体填充的容器内部的一个平面上设有发热用加热电阻、以及包夹所述发热电阻的一对温度检测用电阻的传感器元件。当在发热用加热电阻发热的状态下对传感器元件施加加速度时，流体的对流方向发生变化，导致一对温度检测用电阻的电阻值产生差异。通过检测所述电阻值的差异，便可检测到作用于传感器元件的加速度。

专利文献1    日本特开2000－193677号公报

发明内容

但是，上述专利文献1所公示的结构仅可检测与配置有发热用加热电阻及一对温度检测用电阻的平面平行的方向上的加速度。

本发明的所述内容及所述内容以外的目的和新特征在本说明书的描述及附图说明中写明。

根据本专利说明书之一实施方式，加速度检测元件具有：在内部形成有能够密封流体的流体密封室的外框体；形成于对所述流体密封室进行分隔的多个内壁面中特定的内壁面即特定内壁面上的发热体；形成于所述特定内壁面上的温度测定用的第1测温体及温度测定用的第2测温体，其中，从所述第1测温体到所述发热体的距离比从所述第2测温体到所述发热体的距离短；以及计算所述第1测温体的测定结果和所述第2测温体的测定结果的差的差分运算电路。

根据另一实施方式，加速度检测元件具有：在内部形成有能够密封流体的流体密封室的外框体；形成于对所述流体密封室进行分隔的多个内壁面中特定的内壁面即特定内壁面上的发热体；形成于所述特定内壁面上的温度测定用的一对第1测温体及温度测定用的一对第2测温体，其中，所述一对第1测温体以包夹所述发热体的方式等距离地配置在所述发热体周围，所述一对第2测温体以包夹所述发热体的方式等距离地配置在所述发热体周围，而且，从所述一对第1测温体到所述发热体的距离比从所述一对第2测温体到所述发热体的距离短；计算所述一对第1测温体的测定结果的总和的第1总和运算电路；计算所述一对第2测温体的测定结果的总和的第2总和运算电路；以及计算所述第1总和运算电路的运算结果和所述第2总和运算电路的运算结果的差的差分运算电路。

根据所述差分运算电路进行的运算结果，可检测出与所述特定内壁面正交的方向上的加速度。

附图说明

图1所示的是加速度检测元件的外观透视图。（第1实施方式）

图2所示的是加速度检测元件的局部透视图。（第1实施方式）

图3所示的是沿着图1的III-III线剖开的剖面图。（第1实施方式）

图4所示的是图解热移动的剖面图。（第1实施方式）

图5A所示的是加速度向下时的温度分布的等高线图。图5B所示的是加速度向上时的温度分布的等高线图。（第1实施方式）

图6所示的是加速度检测元件的电路图。（第1实施方式）

图7所示的是加速度检测元件的局部透视图。（第2实施方式）

图8所示的是加速度检测元件的剖面图。（第2实施方式）

图9所示的是图解热移动的剖面图。（第2实施方式）

图10所示的是加速度检测元件的电路图。（第2实施方式）

图11所示的是加速度检测元件的局部透视图。（第3实施方式）

图12所示的是加速度检测元件的剖面图。（第3实施方式）

图13所示的是图解热移动的剖面图。（第3实施方式）

图14所示的是加速度检测元件的局部透视图。（第4实施方式）

图15所示的是加速度检测元件的剖面图。（第4实施方式）

图16所示的是图解热移动的剖面图。（第4实施方式）

（符号说明）

1    加速度检测元件

2    外框体

3    发热体

4    第1测温体

5    第2测温体

6    运算放大器

11   流体缸

12   电路安装面

具体实施方式

（第1实施方式）

下面参照图1至图6对第1实施方式进行说明。

如图1及图2、图6所示，加速度检测元件1具有外框体2、发热体3、第1测温体4、第2测温体5以及运算放大器6（差分运算电路）。