[发明专利]基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量方法及装置

权利要求书

1.一种基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量方法，其特征在于：

（1）待测激光器输出波长为λ_x的激光经过偏振片形成线偏振光，射向e轴与线偏振光的偏振方向成45°角的四分之一波片后形成圆偏振光，该圆偏振光由单频正交线偏振光组成，射向两套迈克尔逊干涉仪后，形成水平偏振分量和垂直偏振分量的干涉信号，分别由各自的光电探测器接收；

（2）首先测量角锥棱镜不动，通过PZT驱动器调制参考角锥棱镜在5μm行程内往返运动，由相位差测量模块测得λ_x垂直偏振分量的干涉信号和λ_x水平偏振分量的干涉信号的相位差PZT驱动器停止调制；

（3）然后测量角锥棱镜移动ΔL＝100mm，由双向计数模块测得λ_x水平偏振分量干涉信号变化的整周期数N；

（4）再次调制参考角锥棱镜在5μm行程内往返运动，由相位差测量模块测得λ_x垂直偏振分量的干涉信号和λ_x水平偏振分量的干涉信号的相位差为则λ_x水平偏振分量干涉信号的小数变化量ε为：

（5）根据测量角锥棱镜移动的位移ΔL和测得的λ_x水平偏振分量干涉信号变化的整周期数N及小数变化量ε，得到待测激光波长为：

λx=2·ΔL(N+ϵ)]]>

至此求出待测激光器的波长。

2.根据权利要求1所述方法的一种基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量装置，其特征在于：包括待测激光器(1)，偏振片(2)，四分之一波片(3)，第一分光镜(4)，PZT驱动器(5)，参考角锥棱镜(6)，第一偏振分光镜(7)，测量角锥棱镜(8)，第二偏振分光镜(9)，第二分光镜(10)，第一光电探测器(11)，第二光电探测器(12)，第三光电探测器(13)，相位差测量模块(14)，双向计数模块(15)和计算机(16)；待测激光器(1)输出波长为λ_x的激光经过偏振片(2)形成线偏振光，射向e轴与线偏振光的偏振方向成45°角的四分之一波片(3)后形成由单频正交线偏振光组成的圆偏振光，其中λ_x垂直偏振分量射向由第一分光镜(4)、安装在PZT驱动器(5)上的参考角锥棱镜(6)和第一偏振分光镜(7)组成的第一套迈克尔逊干涉仪，形成垂直偏振分量的干涉信号，λ_x水平偏振分量射向由第一分光镜(4)、参考角锥棱镜(6)和测量角锥棱镜(8)组成的第二套迈克尔逊干涉仪，形成水平偏振分量的干涉信号；垂直偏振分量干涉信号经第二偏振分光镜(9)反射后被第一光电探测器(11)接收，水平偏振分量干涉信号经第二偏振分光镜(9)透射、第二分光镜(10)分光后，分别被第二光电探测器(12)和第三光电探测器(13)接收；第一光电探测器(11)和第二光电探测器(12)接收到的所述两路干涉信号送入相位差测量模块(14)，第二光电探测器(12)和第三光电探测器(13)接收到的所述两路干涉信号送入双向计数模块(15)，相位差测量模块(14)和双向计数模块(15)接计算机(16)。