[发明专利]基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法及装置

权利要求书

1.基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法，它是基于双工作台光刻机、上位机和VME工控机实现的，

所述VME工控机内插有运动控制卡，所述运动控制卡嵌入有指令解算模型、控制模型、电机模型和工件台数学模型；所述运动控制卡用于采集双工作台光刻机的运行数据，同时发送控制数据给所述双工作台光刻机；

指令解算模型，用于对输入的指令进行解算，并将解算后的指令发送给控制模型；

控制模型，用于对接收的指令进行整定，生成电机控制量和工件台控制量，并分将电机控制量发送给电机模型，将工件台控制量发送给工件台数学模型；

电机模型，用于根据电机控制量驱动实际台体中的电机工作；

工件台数学模型用于根据工作台控制量驱动实际台体中的工作台运动；

其特征在于，上位机和VME工控机内均装有VxWorks操作系统并接入以太网；

所述上位机内嵌入有上位机软件，通过所述上位机软件实现下述步骤：

当接收到操作指令时，将所述操作指令转换为VME工控机接受的格式的命令，并采用TCP通信协议通过socket API接口将所述命令下传到VME工控机的步骤；

当采用UDP通信协议接收到VME工控机发送的执行结果信息并显示的步骤；

所述VME工控机内嵌入有VME工控机软件，通过所述VME工控机软件实现下述步骤：

采用TCP通信协议从socket ZBUF API接口接收上位机发送的命令，将所述命令添加到指令接收缓冲队列的步骤；

从指令接收缓冲队列取出命令，根据所述命令执行相应的软硬件操作，操作结束后将执行结果信息添加到数据发送缓冲队列的步骤；

从数据发送缓冲队列取出执行结果信息，采用UDP通信协议通过socket ZBUF API接口将所述执行结果信息发送给上位机的步骤；

当接收到硬件中断信号时，执行已经被绑定的中断服务程序，中断服务程序通知中断服务任务，所述中断服务任务将中断信息添加到数据发送缓冲队列的步骤；

当接收到硬件轮询信号时，将硬件轮询信号添加到数据发送缓冲队列的步骤。

2.根据权利要求1所述的基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法，其特征在于，

上位机采用TCP通信协议通过socket API接口将所述命令下传到VME工控机通过如下步骤实现：

调用函数socket()建立流式套接字，然后调用函数bind()的步骤；

函数bind()将建立的流式套接字与本地网络地址相关联，然后调用函数Connect（）的步骤；

函数Connect（）向VME工控机发送请求连接，然后调用函数zbufCreate（）的步骤；

函数zbufCreate（）创建ZBUF套接字的步骤；

利用创建的ZBUF套接字进行数据操作，然后调用函数zbufSockSend()的步骤；

函数zbufSockSend()通过TCP通信协议向VME工控机发送指令，调用函数zbufSockRecv（）的步骤；

函数zbufSockRecv（）接收到VME工控机发送的服务应答信号，然后调用函数zbufDelete()的步骤；

函数zbufDelete()删除创建的ZBUF套接字，然后调用函数close().的步骤；

函数close()将建立的流式套接字关闭的步骤。