[发明专利]用于单晶炉的坩埚轴

说明书

技术领域

本发明属于光伏太阳能领域，具体是一种用于单晶炉的坩埚轴，它用于生长晶硅的单晶炉。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶炉用坩埚轴的作用如下：在硅单晶拉制过程中，坩埚轴按照设定值匀速上升，便于单晶硅晶体的结晶。现有技术的单晶炉用坩埚轴，包括坩埚轴本体和内管，坩埚轴本体套装在内管外，坩埚轴本体和内管之间有间隙，坩埚轴本体上端为短柱体，坩埚轴本体下端为长柱体，短柱体外表面开有螺纹，石墨托杆轴通过螺纹连接固定在坩埚轴本体l上端。循环冷却水通过内管流进坩埚轴本体，再由内管与坩埚轴本体之间的间隙流出坩埚轴本体。现有技术的单晶炉用坩埚轴都是采用常规的直管夹套冷却结构，其冷却效果差，而且顶部采用外周面螺纹结构，工作过程中容易损坏。

发明内容

本发明的目的是针对上述技术中存在的不足之处，提出一种用于单晶炉的坩埚轴，它具有结构简单实用、冷却效果好的特点。

实现本发明目的的技术方案如下：

用于单晶炉的坩埚轴，它包括轴体以及轴体内的内管，所述的轴体的壁内设有一个冷却通路，该冷却通路一端与轴体的冷却夹层连通，另一端与冷却夹层的出水口连通，轴体的一端设有用于连接石墨托杆轴的内螺纹孔。

所述的冷却通路为环形的通道，通道内壁均匀设有凹槽。

本发明的优点是通过内螺纹孔防止了螺纹损坏，通过冷却通路与通路内凹槽的设置，增强了冷却效果，延长了设备的使用寿命。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，用于单晶炉的坩埚轴，它包括轴体1以及轴体内的内管2，所述的轴体1的壁内设有一个冷却通路3，该冷却通路3一端与轴体的冷却夹层4连通，另一端与冷却夹层4的出水口5连通，轴体的一端设有用于连接石墨托杆轴的内螺纹孔。

所述的冷却通路为环形的通道，通道内壁均匀设有凹槽。