[发明专利]一种钽靶材的制造方法

权利要求书

1.一种钽靶材的制造方法，其特征在于，包括：

提供钽锭；

对所述钽锭进行热锻处理；

对所述钽锭进行热锻处理之后，对所述钽锭进行一次退火工艺，形成第一钽靶材坯料；

反复进行所述热锻处理至少3次，每一次热锻处理后均进行一次所述一次退火工艺；

对所述第一钽靶材坯料进行轧制处理，形成第二钽靶材坯料，所述轧制处理为冷轧处理；

对所述第二钽靶材坯料进行二次退火工艺，形成钽靶材；

所述轧制处理包括：

冷却所述第一钽靶材坯料；

对所述第一钽靶材坯料进行第一阶段轧制，使所述第一钽靶材坯料的形变量为40％～60％；

第一阶段轧制后，对所述第一钽靶材坯料进行第二阶段轧制，至所述第一钽靶材坯料的形变量为70％～80％；

第二阶段轧制后，对所述第一钽靶材坯料进行第三阶段轧制，至所述第一钽靶材坯料的形变量大于等于90％；

第三阶段轧制后，对所述第一钽靶材坯料进行第四阶段轧制，至预定厚度；

每一步轧制后，转动所述第一钽靶材坯料120°～140°，之后，再对所述第一钽靶材坯料进行下一步轧制；沿不同方向反复轧制所述第一钽靶材坯料至预定厚度，形成第二钽靶材坯料；且所述轧制处理后，所述第一钽靶材坯料的形变量大于90％。

2.根据权利要求1所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，所述热锻处理包括：

将所述钽锭加热至800～1100℃，之后对所述钽锭进行锻打处理；

一次所述锻打处理包括至少沿多个方向对所述钽锭进行锻打，且一次所述锻打处理后的钽锭形变量大于等于80％。

3.根据权利要求2所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，一次热锻处理至少包括3次所述锻打处理。

4.根据权利要求1所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，所述一次退火处理为真空退火处理工艺，包括：

调节真空热处理炉温度至1000～1300℃，在真空条件下加热所述钽锭2～4h。

5.根据权利要求1述的钽靶材的制造方法，其特征在于，在第一阶段轧制、

第二阶段轧制和第三阶段轧制的过程中，均包括多步轧制步骤；

其中，在第一阶段轧制中，每一步轧制后的第一钽靶材坯料的形变量为该步轧制前的10％～25％；

在第二阶段轧制中，每一步轧制后的第一钽靶材坯料的形变量为该步轧制前的10％～20％；

在第三阶段轧制中，每一步轧制后的第一钽靶材坯料的形变量为该步轧制前的8％～13％；

在第四阶段轧制中，每一步轧制后的第一钽靶材坯料的形变量为该步轧制前的3％～7％。

6.根据权利要求1所述的钽靶材的制造方法，其特征在于，所述二次退火处理为真空退火处理工艺，包括：

调节真空热处理炉温度至800～1000℃，在真空条件下加热所述第二钽靶材坯料1～3h。