[发明专利]一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺

权利要求书

1.一种水致冷铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体内的隔热笼（3）以及设置在隔热笼（3）中热交换台（11），所述的热交换台（11）上放置有一个坩埚（4），所述的坩埚（4）的顶端及四周分布有加热器，热交换台（11）的下端设置有底部加热器（7），其特征在于：所述的热交换台（11）的下端设置有水冷盘（13），且水冷盘（13）位于底部加热器（7）的下端，水冷盘（13）内设流腔，并设置进水口（9）和出水口（10），进水口（9）和出水口（10）通过流腔连通，进水口（9）和出水口（10）还分别连通炉体（1）外端。

2.根据权利要求1所述的一种水致冷铸锭炉，其特征在于，所述的水冷盘（13）和底部加热器（7）之间设置有绝热固化毡（8）。

3.根据权利要求1或2所述的一种水致冷铸锭炉，其特征在于，所述的底部加热器（7）的上下两面都覆有一层立方氮化硼（12）。

4.根据权利要求1所述的一种水致冷铸锭炉，其特征在于，所述的热交换台（11）通过支柱（14）进行固定，所述的支柱（14）的一端安装在热交换台（11）的底面，另一端穿过隔热笼（3）安装在炉体（1）的底部。

5.根据权利要求1所述的一种水致冷铸锭炉，其特征在于，所述的坩埚（4）的周边和下端设置有石墨护板（5）。

6.根据权利要求1所述的一种水致冷铸锭炉，其特征在于，所述的热交换台（11）采用石墨制成。

7.根据权利要求1所述的一种水致冷铸锭炉，其特征在于，所述的坩埚（4）的顶端、四周的加热器以及底部加热器（7）均采用石墨制成。

8.水致冷铸锭炉的铸锭工艺，包括抽真空阶段、加热阶段、熔化阶段、长晶阶段、退火及冷却阶段，其特征在于，在长晶阶段时，关闭底部加热器（7），打开水冷盘（13）上的进水口（9）的闸门和出水口（10）的闸门，向水冷盘（13）通入冷却水，对坩埚（4）进行冷却，其中冷却水的温度保持在24℃，其流量为100-500L/m，直到长晶完成；在退火及冷却阶段时，继续向水冷盘（13）通入冷却水，并控制冷却水流量为120-130L/m。