[发明专利]一种扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置及方法

权利要求书

1.一种扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置，包括：

一光源，用于提供一照明光束，

投影光学单元，用于将所述照明光束投射至一工件表面并形成一反射光束；

成像光学单元，用于将所述反射光束成像至探测单元，所述成像光学包括一扫描反射镜，用于按一定振幅反射所述工件表面的反射光束；

探测单元，用于探测所述反射光束的光强信号；

一数据采集单元，用于采集所述光强信号数据；

一控制单元，用于根据支撑所述工件的工件台位置数据及所述光强信号数据设定所述扫描反射镜的振幅值；

一扫描反射镜幅值调节单元，根据所述振幅值调节所述扫描反射镜的振幅。

2.如权利要求1所述的扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置，其特征在于，所述投影光学单元包括第一、第二反射镜，所述照明光束经第一、第二反射镜调整角度后入射所述工件表面；所述成像光学单元还包括第三反射镜，所述工件表面的反射光束经所述扫描反射镜、第三反射镜调整角度。

3.如权利要求2所述的扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置，其特征在于，所述调焦调平装置还包括投影狭缝及探测狭缝，所述投影狭缝位于第一第二反射镜之间，所述反射光束经所述扫描反射镜、第三反射镜调整角度后经由所述探测狭缝入射所述探测单元。

4.一种应用于权利要求1所述的扫描反射镜振动幅度自动调节的调焦调平装置中的扫描反射镜振动幅度自动调节方法，其特征在于，包括：

步骤一、根据数据采集单元的光强信号数据的极值确定调焦调平的零位以及工作台的位置，确定光强最大值MAX以及光强为0.5MAX时工作台的位置；

步骤二、设置工件台位置，使所述工件台位置对应于探测单元接收到的光强信号为0.5MAX处；

步骤三、设定扫描反射镜振幅设定值，采集所述扫描反射镜在90?及其附近±△?和270?及其附近±△?度光强值；

步骤四、判断所述采集到的光强值，判断光强数据最大值点是否等于MAX，或最小值点是否为零，以及判断所述最大值或最小值是否为唯一极值；

步骤五：如果最大值点等于MAX或最小值点等于零，且该极值点不唯一，则减小所述扫描反射镜振幅设定值，进入步骤三；如果最大值点小于MAX或最小值点大于零，则增大所述扫描反射镜振幅设定值，进入步骤三；如果最大值点等于MAX或最小值点等于零，且该极值点唯一，则完成所述扫描反射镜调节。

5.如权利要求4所述的扫描反射镜振动幅度自动调节方法，其特征在于，工件台位置信息获取的步骤，具体包括：在扫描反射镜关闭的情况下，控制单元控制工作台做垂向运动；以及控制单元在控制工作台的同时令数据采集单元不断采集工作台的位置数据，同时令数据采集单元对探测单元探测到的光强数据进行采集。