[发明专利]靶材组件及其制造方法

权利要求书

1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：

提供靶材与背板；

对所述靶材的焊接面进行加工，在所述靶材焊接面的中心区域加工出第一焊接平面，并在所述第一焊接平面的周围加工出第二焊接平面，其中，所述第一焊接平面相对第二焊接平面凸出；还在所述靶材的第一、第二焊接平面之间加工出一连接面，使得所述第一、第二焊接平面之间平滑过渡，所述连接面为斜面；

对所述背板的焊接面进行加工，使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小；

将所述靶材、背板焊接在一起，其中，在焊接时，所述第一焊接平面嵌入背板的焊接面中且所述第二焊接平面接触而不嵌入背板的焊接面；

去除部分靶材和部分背板材料，以形成靶材组件。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述提供靶材与背板的步骤中，所述靶材的第一焊接平面与第二焊接平面的距离在1.5～6毫米的范围内。

3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，对所述靶材的焊接面进行加工的步骤还包括：

在所述靶材的第一、第二焊接平面上加工出平面螺纹。

4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述平面螺纹为三角螺纹，所述螺纹的开设深度在0.61毫米，螺距为0.7，螺纹的截面角度为60度。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述斜面的坡脚为135度。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，对所述背板的焊接面进行加工，使所述背板的厚度从中心向四周逐渐减小的步骤包括：

在背板焊接面的中心区域加工出平坦表面；

减薄所述平坦表面以外的背板焊接面，形成围绕所述平坦表面的斜面。

7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述平坦表面呈圆形，所述斜面相对于水平线的角度在1～2度的范围内，所述平坦表面的直径在40～60毫米的范围内。

8.一种如权利要求1～7任意一权利要求所述制造方法形成的靶材组件，其特征在于，包括：

靶材以及背板，所述靶材的第一焊接面嵌入所述背板的焊接面中。