[发明专利]芯片封装结构的制作方法在审
| 申请号: | 201310373524.0 | 申请日: | 2013-08-23 |
| 公开(公告)号: | CN104425288A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
| 发明(设计)人: | 李志广;黎智;谭志辉 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/603 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
| 地址: | 100871 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 封装 结构 制作方法 | ||
1.一种芯片封装结构的制作方法,包括在衬底上形成第一金属层并对所述第一金属层进行第一构图工艺,形成芯片金属走线图案的步骤,所述衬底包括压焊区,其特征在于,还包括以下步骤:
步骤S1、在所述芯片金属走线上形成钝化层;
步骤S2、在所述钝化层上形成一定厚度的第二金属层;
步骤S3、对所述第二金属层进行合金化处理,形成金属合金层;
步骤S4、对所述金属合金层进行第二构图工艺,形成第一压焊块的图案,其中,所述第一压焊块位于所述压焊区的上方。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,对所述第一金属层进行第一构图工艺,形成芯片金属走线和第二压焊块的图案,其中,所述第二压焊块位于所述压焊区的上方;
步骤S2之前还包括:
对所述钝化层进行第三构图工艺,形成钝化层过孔的图案,所述第一压焊块和第二压焊块通过所述钝化层过孔连接。
3.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,步骤S3具体为:
将芯片封装结构放入充满氮气和氢气的高温合金炉管中,在425℃的温度条件下工艺30min,形成硅铝合金层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





