[发明专利]多晶硅还原酸洗系统

权利要求书

1.一种多晶硅还原酸洗系统，包括抽风机、硅块酸洗机、硅芯酸洗机和为硅块酸洗机与硅芯酸洗机供应酸液的酸液供应装置，硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置通过管道并联至抽风机，该抽风机与酸雾淋洗塔相连并将硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置中的酸雾抽出后导入到酸雾淋洗塔，其特征在于：酸液供应装置与抽风机之间的管道设置有第一风量调节阀，硅块酸洗机与抽风机的管道上设置有第二风量调节阀，硅芯酸洗机与抽风机的管道上设置有第三风量调节阀。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，所述的抽风机的主风道上设置有总风阀。

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，还包括酸液收集槽和泵，所述泵将硅块酸洗机和硅芯酸洗机中使用后的酸液导入到酸液收集槽中以清洗还原炉的内件。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，还包括一个用于清洗还原炉的炉内件的纯水槽。

5.根据权利要求3所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，所述酸液收集槽通过管道与抽风机相连，酸液收集槽与抽风机相连的管道上设置有第四风量调节阀。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，所述的硅块酸洗机与泵之间的管道上设置有第一控液阀，在硅芯酸洗机与泵之间的管道上设置有第二控液阀。

7.根据权利要求6所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，泵的主干道上设置有总液阀。

8.根据权利要求1所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，还包括安装在硅块酸洗机、硅芯酸洗机和酸液供应装置内的酸雾感应装置、用于接收酸雾感应装置测定的酸雾浓度并根据酸雾浓度控制总风阀及第一、第二和第三风量调节阀开闭的处理器。

9.根据权利要求1所述的多晶硅还原酸洗系统，其特征在于，还包括安装在硅块酸洗机、硅芯酸洗机和酸液供应装置内的压力感应装置、用于接收压力感应装置测定的压力值并根据压力值控制总风阀及第一、第二和第三风量调节阀开闭的处理器。