[发明专利]密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种密封结构，更具体地涉及一种用于真空泵的马达的密封机构。另外，本发明涉及包括密封结构的马达和包括马达的真空泵。

背景技术

真空泵例如用在半导体制造系统中。马达作为驱动源附接到真空泵。在真空泵的主轴直接连接到马达并且不设置轴密封部分的结构中，密封结构需要设置在马达上以保持真空。在这种情况中，马达定子布置在马达中，并且电功率供给导线连接该马达定子。由此，导线也需要设置某种结构以保持真空。就此而言，公开了一种马达，其中，马达定子和具有导线的连接部分通过树脂密封在一起(参照专利文献1)。

另外，还提出了一种马达，其中，罐安装在马达定子和马达转子之间以实现密封结构(参照专利文献2)。此外，还公开了一种马达，其中，密封结构施加给马达框架。在这种情况中，密封结构需要设置在导线穿过的开口部分中，并且使用被称为气密终端的部件。

引用列表

专利文献

【专利文献1】日本专利公开No.SHO59-106864

【专利文献2】日本专利No.4435556

发明内容

但是，在传统的密封结构中存在以下问题。即，马达转子直接连接到真空泵的主轴，并且转子主轴处于真空(或部分真空)状态下。因此，马达转子也类似地暴露于真空状态。由此，容纳马达转子的空间中也需要保持真空状态。为了满足例如如上所述的要求，马达定子通过树脂密封在其中以保持真空状态。但是，为了通过树脂将马达定子密封在其中，需要准备复杂的成形模具以执行注射模制操作，这变得非常复杂和麻烦。另外，当如专利文献1中定子芯的内周暴露于马达转子隔间时，如果在与树脂的交接面中产生间隙或者在马达导线中产生气密蠕变，将无法保持真空。

即使在不通过使用树脂密封方法，而是通过提供罐来保持真空的情况下，考虑到罐本身会损坏或破裂。当罐损坏或破裂时，真空丧失。例如，在半导体处理泵中，真空的瞬间损失(或空气的进入)可能导致工艺气体与空气反应或者工艺气体的外部排出的问题。此外，当通过在导线从其伸出的开口中使用气密终端来保持真空时，生产成本急剧增加，使得该方法在成本方面不利。

鉴于上述问题做出本发明。根据本发明，提供一种用于真空泵马达的密封结构，包括导线，该导线穿过形成在待连接到马达定子的马达框架中的开口部分和密封开口部分的密封构件，其中导线包括芯线部分和覆盖芯线部分的覆盖部分，并且密封部分形成在芯线部分的至少一部分中。

另外，根据本发明，提供一种用于真空泵马达的密封结构，包括导线，该导线连接到马达定子和树脂模制部分，树脂模制部分通过树脂密封将导线连接到马达定子的连接部分，其中导线包括芯线部分和覆盖芯线部分的覆盖部分，并且密封部分形成在芯线部分的至少一部分中，并且其中树脂模制部分的至少一部分兼作到真空泵的附接部分。

附加地，根据本发明的任一密封结构，密封部分是施加有密封处理的部分，其中，覆盖部分的内部中的芯线部分充满树脂。

附加地，根据本发明的任一密封结构，密封部分是施加有密封处理的部分，其中，覆盖部分的一部分被去除以通过焊接将芯线一体化为单个线组件，并且进一步，密封部分经由密封介质通过能够热收缩的管覆盖。

另外，根据本发明的密封结构，密封构件由弹性橡胶制成，并且导线穿过的钻孔形成在密封构件中。

附加地，根据本发明的密封结构，弹性橡胶在通过预定的紧固板压缩的同时附接到马达框架中的开口部分。

另外，根据本发明，提供一种具有密封结构的真空泵马达，包括马达转子，该马达转子直接连接到真空泵的泵主轴。

附加地，根据本发明的真空泵马达，牢固地闭合马达转子的罐设置在马达定子和马达转子之间。

另外，根据本发明，提供一种真空泵，包括密封结构或马达。

根据本发明，由于导线和马达框架设有它们自身的密封结构，所以能够避免罐或气密终端。另外，双密封结构能够廉价地实现，其甚至在罐于具有罐的马达中被损坏的情况下仍保持真空状态。

附图说明

图1是显示真空泵和包括根据本发明的实施方式的密封结构的马达的剖面图。

图2显示马达的剖面图，其中，图2(A)显示不具有罐的马达，而图2(B)显示具有罐的马达。

图3是显示马达的剖面图，其中，马达定子通过树脂模制部分密封在树脂中。

图4显示图示导线密封结构的剖面图，其中，图4(A)显示采用树脂密封的密封结构，图4(B)显示采用焊接的密封结构。

图5是显示马达框架中的开口部分内的密封结构的剖面图。