[发明专利]一种具有表面微结构阵列的生物医用电极及其制造方法

权利要求书

1.一种具有表面微结构阵列的生物医用电极，其特征在于设有金属电极芯、泡沫材料背衬和屏蔽导线；所述金属电极芯设在泡沫材料背衬的上表面，金属电极芯上设有微结构阵列；所述屏蔽导线的一端从泡沫材料背衬的下表面穿透泡沫材料背衬并与金属电极芯连接。

2.如权利要求1所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极，其特征在于所述金属电极芯采用铜电极芯、铝电极芯或不锈钢电极芯。

3.如权利要求1所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极，其特征在于所述微结构阵列采用锥形微结构阵列、柱形微结构阵列或圆形微结构阵列；微结构阵列可采用圆周阵列或线性阵列。

4.如权利要求1所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极，其特征在于所述微结构阵列中的微结构纵向距离为0.1～0.3mm，横向距离为0.1～0.3mm。

5.如权利要求1所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极，其特征在于所述微结构阵列设在泡沫材料背衬的上表面中部。

6.如权利要求1所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极，其特征在于所述微结构阵列用胶水粘贴在泡沫材料背衬的上表面。

7.如权利要求1所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极，其特征在于所述屏蔽导线的一端通过填充导电银胶与金属电极芯的表面连接；所述屏蔽导线的一端可从泡沫材料背衬的下表面穿透泡沫材料背衬的中心并与金属电极芯连接。

8.如权利要求1所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极的制造方法，其特征在于包括以下步骤：

1）将金属薄片作为金属电极芯的原材料，采用激光微加工技术在金属电极芯上形成具有纵向距离为0.1～0.3mm，横向距离为0.1～0.3mm的微结构阵列，清洗干燥后，用盐酸除去氧化层和杂质，再用酒精清洗后，在金属电极芯表面镀Au或Ag/AgCl薄层；

2）将金属电极芯用胶水粘贴于泡沫材料背衬的表面；

3）将屏蔽导线穿透泡沫材料背衬，并通过填充导电银胶方式连接在金属电极芯表面，待导电银胶固化后即可形成金属电极芯与屏蔽导线的无焊连接，最终获得具有表面微结构阵列的生物医用电极。

9.如权利要求8所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述金属薄片采用紫铜金属薄片；所述盐酸可采用浓度为5%HCl盐酸。

10.如权利要求8所述一种具有表面微结构阵列的生物医用电极的制造方法，其特征在于在步骤1）中，所述镀Au或Ag/AgCl薄层的方法采用电喷或电镀；所述镀Au或Ag/AgCl薄层的厚度可为5～10μm。