[发明专利]一种晶圆测试探针卡管理系统及其使用方法

权利要求书

1.一种晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，包括：

分类单元，用于按照预定义分类方式对各探针卡分类；

状态管理单元，用于监控和管理各探针卡的各种状态；

分发单元，用于根据所述分类单元的分类信息以及状态管理单元的状态，检查所述待处理的探针卡是否适合晶圆生产线上使用，若待处理的探针卡适合使用，则将所述待处理的探针卡送入晶圆生产线并将所述待处理的探针卡的状态切换至使用状态；若待处理的探针卡不合适使用，则根据所述待处理的探针卡的状态将所述待处理的探针卡送入指定流程并切换所述待处理的探针卡的状态。

2.如权利要求1所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述分发单元还用于将所述待处理的探针卡的分发过程中的各个状态更新到所述状态管理单元中。

3.如权利要求1或2所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述各种状态包括：测试、使用、空闲、待保养、保养、待维修、维修、待检查、检查、存放、入库、报废。

4.如权利要求3所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述指定流程包括测试、待保养、保养、待维修、维修、待检查、检查、存放、入库、报废中的至少一种。

5.如权利要求3所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述状态管理单元设有管理权限，所述管理权限用于对不同用户开放探针卡状态管理的不同权利范围。

6.如权利要求5所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述管理权限包括工艺工程师权限以及生产线操作工权限，所述工艺工程师权限包括切换探针卡的测试、待保养、保养、待维修、维修、待检查、检查、存放、报废状态；所述操作工权限包括切换探针卡的使用、空闲、待保养、保养、待维修、维修、待检查状态、检查、存放、入库状态。

7.如权利要求1所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述分发单元检查待处理的探针卡是否适合晶圆生产线上使用的步骤包括：判断所述晶圆生产线机台状态是否可用；判断待处理的探针卡的类型是否符合晶圆生产线指定的类型以及判断待处理的探针卡的状态是否为空闲。

8.如权利要求1或6所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述晶圆测试探针卡管理系统还包括历史信息查询单元，用于用于提供每一探针卡的历史管理信息的查询。

9.如权利要求1所述的晶圆测试探针卡管理系统，其特征在于，所述晶圆测试探针卡管理系统还包括报警单元，用于在所述待处理的探针卡不适合使用时报警。

10.一种权利要求1至9中任一项所述的晶圆测试探针卡管理系统的使用方法，其特征在于，包括：

采用所述分类单元对各探针卡分类；

采用状态管理单元实时监控和管理各探针卡的各种状态；

采用分发单元对待处理的探针卡进行检查，若待处理的探针卡适合使用，则将所述待处理的探针卡送入晶圆生产线并将所述待处理的探针卡的状态切换至使用状态；若待处理的探针卡不合适使用，则根据所述待处理的探针卡的状态将所述待处理的探针卡送入指定流程并切换所述待处理的探针卡的状态。