[发明专利]反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置有效
| 申请号： | 201310354510.4 | 申请日： | 2013-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN103411938A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;王宇航 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 斯托 性质 荧光 针孔 微结构 扫描 测量 装置 | ||
1.反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置，其特征在于：包括激光器（1）、第一扫描振镜（2）、第二扫描振镜（3）、扫描透镜（4）、第一光阑（5）、第一成像透镜（6）、分光镜（7）、第二光阑（8）、显微物镜（9）、扫描载物台（10）、管镜（11）、荧光随动针孔（12）、第二成像透镜（13）、窄带滤光片（14）和CCD相机（15）；从激光器（1）发出的光束经过第一扫描振镜（2）和第二扫描振镜（3）反射后，依次经过扫描透镜（4）、第一光阑（5）、第一成像透镜（6）、分光镜（7）、第二光阑（8）、显微物镜（9）照射到随扫描载物台（10）轴向运动的被测微结构样品表面，构成角谱扫描照明光路；从被测微结构样品表面漫反射的光束再次经过显微物镜（9）、第二光阑（8），并由分光镜（7）反射，经管镜（11）会聚到荧光随动针孔（12），激发出的荧光被第二成像透镜（13）和窄带滤光片（14）成像到CCD相机（15），构成荧光随动针孔探测光路；第一扫描振镜（2）和第二扫描振镜（3）的转轴相互垂直，扫描透镜（4）的后焦平面与第一成像透镜（6）的物平面重合于第一光阑（5）所在平面；第一成像透镜（6）的像平面与显微物镜（9）的后焦平面重合于第二光阑（8）所在平面；管镜（11）的前焦平面与第二成像透镜（13）的物平面重合于荧光随动针孔（12）所在平面。CCD相机（15）位于第二成像透镜（13）像平面，滤光片（14）放置于荧光随动针孔（12）和CCD相机（15）之间；所述的荧光随动针孔（12）为均匀镀有具有反斯托克司性质的荧光物质的透明薄基底材料。
2.根据权利要求1所述的反斯托克司性质荧光随动针孔微结构角谱扫描测量装置，其特征在于：所述的透明薄基底材料为厚度不超过0.17mm的玻璃，上下表面平行且进行剖光处理。
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