[发明专利]形成有机层的装置以及使用其制造有机发光显示器的方法

说明书

本申请要求在2012年11月7日提交的第10-2012-0125717号韩国专利申请的优先权，通过引用将该韩国专利申请的全部内容包含于此。

技术领域

本公开涉及一种形成有机层的装置以及使用该形成有机层的装置制造有机发光显示器的方法，所述形成有机层的装置能够一起执行沉积工艺和转移印刷工艺来形成有机层。

背景技术

在有机发光显示器中，空穴和电子分别通过阳极和阴极注入到有机层中，并在有机层中复合以产生激子。当激子从激发态返回基态时，激子作为释放的光能发射。

为了使用有机发光显示器实现色彩，有机层典型地包括红光发射层、绿光发射层和蓝光发射层。通常通过沉积工艺或转移印刷工艺来形成红光发射层、绿光发射层和蓝光发射层。

沉积工艺允许从沉积源单元蒸发的沉积材料沉积在具体的区域中，由此形成有机层。然而，使用这样的工艺来形成有机层所需的时间通常较长。

由于制备红色膜、绿色膜和蓝色膜并按顺序转移这三种膜，因此转移印刷工艺需要三个单独的转移印刷步骤。在这种情况下，对每种色彩执行转移印刷工艺，因此转移印刷工艺通常是复杂的。另外，在针对每种色彩的转移印刷工艺中产生的残余物对后续的转移印刷工艺产生影响。

发明内容

本公开提供了一种形成有机层的装置，所述装置能够一起执行沉积工艺和转移印刷工艺。

本公开提供了一种使用有机层形成装置来制造有机发光显示器的方法。

本发明构思的实施例提供了一种有机层形成装置。所述装置包括：供体膜供应部件，被构造为提供供体膜，供体膜包括基体基板、设置在基体基板上的转移层和设置在转移层上的保护膜；保护膜撤回部件，被构造为从供体膜去除保护膜；转移印刷工艺部件，被构造为将供体膜的转移层转移到转移基板上以形成第一有机层；第一沉积部件，被构造为通过第一沉积工艺在其上形成有第一有机层的转移基板上形成第二有机层；第二沉积部件，被构造为通过第二沉积工艺在其上形成有第二有机层的转移基板上形成第三有机层；以及供体膜撤回部件，被构造为撤回供体膜。供体膜供应部件、保护膜撤回部件、转移印刷工艺部件、第一沉积部件、第二沉积部件和供体膜撤回部件依次布置为串联连接。

转移基板被构造为在进入到供体膜供应部件之后，从供体膜供应部件转移到供体膜撤回部件。

转移印刷工艺部件和供体膜撤回部件保持在比第一沉积部件和第二沉积部件的真空状态低的真空状态下。

所述装置还包括设置在保护膜撤回部件和转移印刷工艺部件之间的工艺支撑部件，工艺支撑部件保持在比第一沉积部件和第二沉积部件的真空状态低的真空状态下。

本发明构思的实施例提供了一种制造有机发光显示器的方法。所述方法包括：将包括形成有第一电极的多个像素区域的绝缘基板提供至有机层形成装置的供体膜供应部件，所述有机层形成装置包括依次布置为串联连接的供体膜供应部件、保护膜撤回部件、转移印刷工艺部件、第一沉积部件、第二沉积部件和供体膜撤回部件；使用供体膜供应部件提供供体膜，所述供体膜包括基体基板、设置在基体基板上的转移层和设置在转移层上的保护膜；使用保护膜撤回部件去除保护膜；使用转移印刷工艺部件将转移层转移到在像素区域的一部分中的第一电极上以形成第一有机层；使用第一沉积部件将第一有机材料沉积到像素区域的另一部分中的第一电极上以形成第二有机层；使用第二沉积部件将第二有机材料沉积到像素区域的剩余部分中的第一电极上以形成第三有机层；以及使用供体膜撤回部件撤回供体膜。

所述方法还包括将激光束照射到基板上。

根据以上内容，有机层形成装置可以防止转移层被污染，由此防止有机层中的缺陷。因此，通过使用有机层形成装置的方法可以提高有机发光显示器的可靠性。

附图说明

通过参照以下在结合附图考虑时进行的详细描述，本公开的以上和其他优点将会变得显而易见，在附图中：

图1是示出了有机发光显示器的剖视图；

图2和图3是示出了用于形成图1中示出的有机发光显示器的有机层的有机层形成装置的实施例的示意图；

图4至图10是示出了根据本公开的实施例的制造有机发光显示器的方法的剖视图。

具体实施方式