[发明专利]一种硅壳钨芯加热丝及制备方法

权利要求书

1.一种硅壳钨芯加热丝，其特征在于，钨丝外表面包裹有高纯硅。

2.根据权利要求1所述的硅壳钨芯加热丝，其特征在于，包裹的高纯硅的厚度为10-200μm。

3.权利要求1所述硅壳钨芯加热丝的制备方法，其特征在于，步骤如下：

步骤1：将钨丝绕制成所需要的形状；

步骤2：将上述钨丝放入化学气相沉积反应炉中，抽真空，真空度不低于10^-1Pa；

步骤3：向化学气相沉积反应炉内通入氢气，其流量为10-50L·min^-1；

步骤4：加热化学气相沉积反应炉内的钨丝，加热温度900-1200℃；

步骤5：向化学气相沉积反应炉内通入三氯氢硅，其流量为10-100sccm，则三氯氢硅与氢气反应后还原出的硅，沉积在加热的钨丝表面形成壳层，反应时间1-30min；

步骤6：停止三氯氢硅注入，降低钨丝的温度至室温，停止氢气注入。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述氢气和三氯氢硅的纯度大于5N。