[发明专利]用于在衬底上形成黄铜矿层的装置和方法

权利要求书

1.一种用于在衬底上形成黄铜矿层的方法，所述方法包括：

向至少一个缓冲室中的衬底供热；

将所述衬底传送至经由传送机与所述至少一个缓冲室连接的至少一个沉积室；以及

在所述至少一个沉积室中，使用溅射将第一组多种元素沉积在所述衬底的至少一部分上，并且使用蒸发将第二组多种元素沉积在所述衬底的至少一部分上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，沉积所述第一组多种元素包括：沉积铜、锌、铟、铝、金和锡中的至少一种，并且沉积所述第二组多种元素包括：使用蒸发，沉积镓、硒、硫和钠中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述沉积期间，所述衬底的温度范围为约200℃至约650℃。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：在至少一个后加工室中对形成在衬底上的所述黄铜矿层进行加工，所述至少一个后加工室经由所述传送机连接至所述至少一个沉积室，其中，所述至少一个后加工室中包括惰性气体、硒、硫或氢气。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述衬底传送至所述至少一个沉积室进一步包括：将所述衬底传送至第一沉积室、第二沉积室和第三沉积室中的至少一个。

6.根据权利要求5所述的方法，进一步包括：控制相互独立的所述第一沉积室、所述第二沉积室和所述第三沉积室中的每个内的至少一个操作参数。

7.根据权利要求5所述的方法，其中：

在第一预定义温度下，在所述第一沉积室中部分地执行所述沉积；以及

在第二预定义温度下，在所述第二沉积室中部分地执行所述沉积；以及

在第三预定义温度下，在所述第三沉积室中部分地执行所述沉积。

8.根据权利要求7所述的方法，进一步包括：分别独立地控制所述第一沉积室、所述第二沉积室和所述第三沉积室内的所述第一预定义温度、所述第二预定义温度和所述第三预定义温度中的每一个。

9.一种用于在衬底上形成黄铜矿层的装置，所述装置包括：

至少一个缓冲室，被配置成接收衬底并且给所述衬底供热；以及

至少一个沉积室，经由传送机连接至所述至少一个缓冲室，所述至少一个沉积室被配置成接收所述衬底，并且所述至少一个沉积室被配置成使用溅射将第一组多种元素沉积在所述衬底的至少一部分上，并且使用蒸发将第二组多种元素沉积在所述衬底的至少一部分上，以在所述衬底上形成黄铜矿层。

10.一种用于在衬底上形成黄铜矿层的方法，所述方法包括：

经由传送机将衬底从缓冲室传送至第一沉积室；

在所述第一沉积室中，在第一预定义温度下，使用溅射将第一组多种元素的至少一部分沉积在所述衬底的至少一部分上，并且使用蒸发将第二组多种元素的至少一部分沉积在所述衬底的至少一部分上，使得第一前体层沉积在所述衬底上；

将所述衬底从所述第一沉积室传送至第二沉积室；以及

在所述第二沉积室中，在第二预定义温度下，使用溅射将所述第一组多种元素的至少一部分沉积在所述衬底的至少一部分上，并且使用蒸发将所述第二组多种元素的至少一部分沉积在所述衬底的至少一部分上，使得第二前体层沉积在所述衬底上。