[发明专利]电感耦合等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310346837.7 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN103917037B | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 崔智淑;李昌根 | 申请（专利权）人： | 丽佳达普株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 处理 装置 | ||
1.一种电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：
腔室，在内部形成有工艺空间；
源线圈，设在电介质窗外部的上侧，所述电介质窗设置在所述工艺空间的上部；
盖部，设在所述源线圈的上部；
接地板，设在所述源线圈和所述盖部之间，并形成有设置孔，且处于接地状态；
可变电容器控制装置，以贯穿所述设置孔的方式安装，并与所述源线圈连接，用于控制阻抗，通过所述接地板形成接地。
2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，
在所述源线圈上部具有向所述源线圈侧延伸并与电源连接的总线圈，在所述总线圈的周围设有总线圈绝缘部。
3.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，
在所述可变电容器控制装置的周边设有绝缘部。
4.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，
所述可变电容器控制装置包括：可变电容器，连接于所述源线圈；电机，使所述可变电容器自动旋转；外部编码器，用于检测所述电机的旋转。
5.根据权利要求4所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，
所述外部编码器和所述可变电容器通过绝缘法兰连接。
6.根据权利要求4所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，
在所述可变电容器的末端设置有与所述源线圈连接的连接板。
7.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体处理装置，其特征在于，
在所述连接板上设有冷却管，用于冷却所述连接板。
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