[发明专利]一种表面高反薄板材厚度测量仪

权利要求书

1.一种表面高反薄板材厚度测量仪，其特征在于，包括：

调整垫脚；

钢架底座，所述的钢架底座设在调整垫脚上；

平台，所述的平台设在钢架底座上；

固定横梁，所述的固定横梁设在平台上；

工件承载台，所述的工件承载台设在固定横梁的上方；

Y轴，所述的Y轴及其动板固定在平台上且其运动方向与固定横梁相互垂直，Y轴动板连接工件承载台；

X轴，所述的X轴及其动板固定在固定横梁上、与Y轴相互垂直；

Z轴，所述的Z轴及其动板通过Z轴安装座设在横梁的上方、垂直于平台；

上接触式测头，所述的上接触式测头固定在Z轴动板上；

下接触式测头，所述的下接触式测头通过安装座固定在横梁的上横条上。

2.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于，所述的接触式测头包括探针、弹性装置、方形空气导轨、空气导轨进气座、激光位移传感器、顶板、光栅尺、空气导轨导芯供气接头、测头安装座、测头安装底板和底板，所述的方形空气导轨安装在测头安装底板上，探针连接方形空气导轨导芯的下端、贯穿底板，导芯下端与底板之间设有弹性装置，空气导轨进气座设在方形空气导轨的上方，激光位移传感器设在空气导轨进气座的上方，与传感器相连接的数据线贯穿顶板，光栅尺设置在激光位移传感器的左侧，空气导轨导芯供气接头设在空气导轨进气座的左侧、连接进气座，测头安装座设在测头安装底板的左侧。

3.根据权利要求2所述的测量仪，其特征在于，所述的光栅尺平行安装于激光位移传感器。

4.根据权利要求2所述的测量仪，其特征在于，所述的弹性装置为精密弹簧。

5.根据权利要求2所述的测量仪，其特征在于，所述方形空气导轨的导芯内部为空芯结构，顶部连接方形导轨进气座。

6.根据权利要求5所述的测量仪，其特征在于，所述的方形导轨进气座侧面连接方形空气导轨供气接头。

7.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于，所述的钢架底座内设有工控机、电控系统和气动系统。