[发明专利]以工业合成氯化氢为原料制备电子级高纯氯化氢的方法有效
申请号: | 201310345190.6 | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN103387211A | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 卢孔燎;郑琪;章意坚 | 申请(专利权)人: | 杭州电化集团有限公司 |
主分类号: | C01B7/07 | 分类号: | C01B7/07 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 冉国政 |
地址: | 311228 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工业 合成 氯化氢 原料 制备 电子 高纯 方法 | ||
1.一种以工业合成氯化氢为原料制备电子级高纯氯化氢的方法,其特征在于,包括以下步骤:
a.原料工业氯化氢经过滤压缩后,从装有干燥剂的一级干燥塔底部进入,经吸附脱除大部分水分后从塔顶出来;
b.再进入装有干燥剂的二级干燥塔底部,经深度脱水,脱除微量水分后从塔顶出来,脱除后氯化氢中的水分含量小于0.5ppm;
c.然后从装有吸附剂的吸附塔底部进入,吸附脱除二氧化碳和极微量水分后从塔顶出来,吸附后二氧化碳含量小于2ppm;
d.加压,冷凝后进入脱轻精馏塔,氮气,氧气,氢气,一氧化碳,甲烷等低沸点气体从塔顶排出,形成尾气并回收,脱除后氮气含量小于2ppm,氧气含量小于1ppm,一氧化碳含量小于1ppm,甲烷小于1ppm,氢气含量小于0.2ppm;
e.从脱轻精馏塔塔底出来的氯化氢液体再进入脱重精馏塔,汽化脱除比氯化氢重的高沸点组分和大部分金属离子;
f.从脱重精馏塔塔顶出来的高纯氯化氢纯度达到99.999%以上,经压缩灌装系统装瓶,装瓶后的高纯氯化氢,金属离子总含量小于0.3ppm。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤b之后还设置有多级物理干燥。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤a和步骤b中的干燥剂为沸石分子筛。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,步骤a和步骤b中的干燥剂为13X沸石分子筛。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤c中的吸附剂为沸石分子筛。
6.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,步骤c中的吸附剂为SSZ-13沸石分子筛。
7.根据权利要求1-6任意一项所述的方法,其特征在于,步骤a和步骤b中的干燥剂,步骤c中的吸附剂均经过200℃高温氯气处理两个小时。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤a中原料工业合成氯化氢经过滤压缩后,在0.3-0.6MP的压力和常温下,以1-5M3/h的流量进入一级干燥塔。
9.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤d中氯化氢从吸附塔中出来后,压缩至1.5-2.5MP,冷却至-15℃--25℃。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,步骤d中氯化氢从吸附塔中出来后,压缩至2.0MP,冷却至-20℃。
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