[发明专利]全自动IC及LED测试一体化系统

说明书

技术领域

本发明属于工业自动化制造领域，涉及一种测试系统，尤其涉及一种全自动IC及LED测试一体化系统。

背景技术

目前国内外半导体设备制造商所生产的IC（集成电路）及LED（发光二极管）测试系统，包括全自动探针测试台和IC及LED测试机，相互之间通过专用工业通讯方式进行数据传输。

国内外目前大多全自动探针台使用伺服电机和导轨丝杠来实现高精度工作台。旋转机构通过蜗轮蜗杆技术来实现。探针测试台的测试效率较低。此外，探针台和测试机分开设置，数据传输过程中存在干扰，影响了测试数据的精确度。

发明内容

鉴于上述的现有技术中的问题，本发明通过将探针台和测试机整合在一起，提升了探针测试台的性能和效率，同时节约成本，减少资金开支。

为达到上述目的，具体技术方案如下：

一种全自动IC及LED测试一体化系统，包括探针台模块和测试机模块，所述探针台模块包括输送晶圆的片盒升降机构、移动晶圆至测试位置的承片机构和将晶圆由所述片盒升降机构传递至承片机构的上片机构，所述测试机模块包括相连的探卡和测试机，所述探卡与所述承片机构配合并置于所述承片机构的上方，所述测试机与所述承片机构相连，所述承片机构中还包括承片台、第一动力装置和第二动力装置，所述第一动力装置直线驱动所述承片台，所述第二动力装置旋转驱动所述承片台。

优选的，所述第一动力装置为直线电机，所述第二动力装置为直驱马达。

优选的，还包括网络服务器，所述网络服务器通过互联网与所述测试机相连。

优选的，还包括大理石平板，所述承片机构置于所述大理石平板上。

优选的，所述承片机构还包括导轨和光栅尺。

优选的，所述片盒升降机构还包括位置传感器。

优选的，所述片盒升降机构还包括警报器。

优选的，所述警报器包括警报灯。

优选的，所述上片机构还包括机械手，所述机械手可绕所述上片机构旋转。

优选的，还包括机架，所述探针台模块和测试机模块设于所述机架上。

本发明的技术方案的优点有：

通过直线电机、高精度导轨及光栅尺组成工作台，提高精度；

对承片台机构，将以前的蜗轮蜗杆机构改为DDR马达（直驱马达）来实现θ方向的精确定位。自动对准时能够精确捕捉到“标靶”；

同时，为保证精度及刚性需求，将该工作台固定在大理石平板上，能减缓外界环境的干扰；

此外，通过“云”处理方式将晶圆上的电路的详细测试结果通过“云”技术存储在服务器，方便IC设计方、制造方进行数据核查，便于进行工艺提升。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是本发明的实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

以下将结合附图对本发明的实施例做具体阐释。

如图1中所示的本发明的实施例的全自动IC及LED测试一体化系统，包括探针台模块和测试机模块。

探针台模块包括输送晶圆的片盒升降机构1、移动晶圆至测试位置的承片机构2和将晶圆由片盒升降机构1传递至承片机构2的上片机构3。

测试机模块包括相连的探卡4和测试机5。探卡4与承片机构2配合并置于承片机构2的上方。测试机5与承片机构2相连。

承片机构2中还包括承片台、第一动力装置和第二动力装置，第一动力装置直线驱动承片台，第二动力装置旋转驱动承片台。优选第一动力装置为直线电机，第二动力装置为直驱马达。

此外，还包括网络服务器，网络服务器通过互联网与测试机7相连，即“云”处理方式。还包括机架，探针台模块和测试机模块设于机架上。