[发明专利]光学测量设备和运载工具有效
申请号: | 201310338031.3 | 申请日: | 2013-08-06 |
公开(公告)号: | CN103576209A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | 仲村忠司;今井重明 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光 |
主分类号: | G01V8/10 | 分类号: | G01V8/10;G01S17/08 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 吴俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 测量 设备 运载 工具 | ||
1.一种光学测量设备,包括:
第一光源;
光学元件,构造成聚集从所述第一光源发出的光束;
光照射器,构造成将所述光束照射到目标上;以及
光电检测器,构造成检测所述光束的从所述目标穿过成像系统的反射光或散射光,所述光束照射到所述目标上,
其中,从所述第一光源到通过所述光学元件形成的第一光源第一共轭象的第一光路长度与从所述光电检测器到通过所述成像系统形成的光电检测器第二共轭象的第二光路长度至少在第一方向上不同。
2.如权利要求1所述的光学测量设备,还包括:
偏转器,构造成使穿过所述光学元件的所述光束偏转和扫描,其中所述偏转器布置在所述照射器的下游,
其中,当所述偏转器偏转和扫描的方向是主扫描方向时,并且当垂直于所述主扫描方向的方向是副扫描方向时,所述第一方向是所述主扫描方向和所述副扫描方向中的一个。
3.如权利要求1或2所述的光学测量设备,
其中,所述光学元件至少在所述第一方向上具有第一主点和第一焦距,所述第一主点布置在与所述第一光源以所述第一焦距间隔开的第一位置处,并且
所述成像系统包括至少在所述第一方向上具有第二主点和第二焦距的第一成像元件,所述第二主点布置在与所述光电检测器以所述第二焦距间隔开的第二位置处。
4.如权利要求3所述的光学测量设备,
其中,所述第一光源包括多个第二光源,来自相应第二光源的第二光束照射所述目标的不同区域,
所述成像系统包括在第二方向上具有第三主点和第三焦距的第二成像元件,所述第二方向与所述第一方向不同,并且
所述第二焦距与所述第三焦距不同。
5.如权利要求4所述的光学测量设备,
其中,所述第二主点布置在与所述光电检测器以大于所述第二焦距的距离间隔开的第三位置处,并且
所述第三主点布置在与所述光电检测器以所述第三焦距间隔开的第四位置处。
6.如权利要求1-5任一项所述的光学测量设备,
其中,当所述光学测量设备的最近检测距离是最小检测距离时,所述光电检测器的第二共轭象的第五位置是与所述光学测量设备以最小检测距离间隔开的点。
7.一种包括如权利要求1-6任一项所述的光学测量设备的运载工具。
8.如权利要求7所述的运载工具,
其中,所述光学测量设备的照射器向所述运载工具的外部照射光,
所述光电检测器检测所述光的反射光或散射光,并且
所述光学测量设备构造成根据被所述光电检测器检测到的信号而获得来自所述运载工具外部的目标的信息。
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