[发明专利]多轴真空机械手轴系精度测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种轴系精度测试装置，具体地，涉及一种多轴真空机械手轴系精度测试装置。

背景技术

随着半导体产业的发展，集束型设备与真空机器人在提高生产效率的追求中显得越来越重要。目前，国内的集束型设备与真空机器人技术处于起步阶段。真空机器人的轴系精度是机器人的重要性能指标，无论是在机器人的研制还是在生产阶段，为了实现对真空机器人的性能检测与质量控制，都需要一套简单、高效、稳定可靠的轴系精度测试装置。

目前，使用最广泛的轴系精度测试装置为采用电涡流位移传感器的测量装置，该种测量装置测量精度低且测量过程操作繁琐，使用不方便。现有电涡流位移传感器轴系测量装置量程不可调，测量时通常需要重复安装与调试，操作繁琐，使用非常不方便，且多次重复安装容易造成干扰，影响测量精度。同时，由于量程不可调，该种测量装置只能针对一个轴系进行测量，适用范围窄，且不同轴系需设置不同的测量装置，使得测量成本高。另外，现有电涡流位移传感器测量装置只能用于金属材质的测量，而不能满足非金属材料轴系的测量要求。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种简单、高效、稳定可靠的多轴真空机械手轴系精度测试装置。

根据本发明的一个方面，提供一种多轴真空机械手轴系精度测试装置，测试台1、机械手直驱单元2、连接法兰3、柔性联轴器4、角度编码器5、角度编码器安装支架6和激光位移检测装置7，角度编码器安装支架6与测试台1连接，角度编码器5与角度编码器安装支架6连接；连接法兰设置在测试台1上下两端分别连接柔性联轴器4和机械手直驱单元2，柔性联轴器4与角度编码器5连接，激光位移检测装置7与连接法兰3连接。

优选地，机械手直驱单元2包括：机械手安装法兰21和机械手驱动轴22，机械手安装法兰21与测试台1连接，机械手驱动轴22分别与机械手安装法兰21和连接法兰3连接。

优选地，激光位移检测装置7包括：两个激光位移传感器71和二维移动平台72，二维移动平台72与连接法兰3连接，两个激光位移传感器71设置在二维移动平台72上。

本发明的工作过程为：当机械手驱动轴22转动时，带动连接法兰3，柔性联轴器4，角度编码器5轴转动，从而角度编码器5可测出机械手驱动轴22的动态运行情况。激光位移检测装置7可以通过调整二维移动平台72平面内的位置，使激光位移传感器71与机械手驱动轴22轴心对准，并且处于有效测量范围，从而实现对连接法兰3外圆表面距离的测量，并且通过两个激光位移传感器71数据的综合分析可以得到机械手驱动轴22径向跳动以及倾角等动态运行情况。

与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：本发明采用激光位移传感器，并具有可调装置——二维移动平台。通过二维移动平台可以针对不同的测量对象方便地调整量程，并且，只需更换不同型号的连接法兰即可分别实现对多种轴系的测量，适应多轴系的测量，避免了繁琐的重复安装与调试，扩大了适用范围，有效降低了测试成本。同时，本发明采用激光位移测量方法，可以同时满足非金属材料轴系的测量要求，适应不同材料轴系的测量，适用范围广泛。另外，本发明只需更换不同型号的连接法兰即可分别实现对各轴系的测量，且保持了多轴之间的安装完整性，将安装测量对轴系精度的干扰影响降到最低，测量精度高。因此，与现有技术相比，本发明具有测量精度高、测试操作方便、适用范围广泛且测试成本第的优点。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明多轴真空机械手轴系精度测试装置的立体结构图；

图2为本发明多轴真空机械手轴系精度测试装置的结构剖视图；

图3为本发明实施例的角度编码器的安装示意图；

图4为本发明实施例的机械手驱动轴的连接示意图。

图中：1为测试台，2为机械手直驱单元，21为机械手安装法兰，22为机械手驱动轴，3为连接法兰，4为柔性联轴器，5为编码器，6为角度编码器安装支架，7为激光位移检测装置，71为激光位移传感器，72为二维移动平台。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。